I
我
仍然
看到
你的
拋光
桌子
2
吞吐量
最佳化
滑動
也
,
經過 這 方式 .
I 我 不是 當然 如果 它 的 只是 真的 卡頓 或者 什麼 的 去 在 那裡 .
你 '關於 不是 看到 這 標題 滑動 ?
現在 I 我 看到 這 標題 滑動 .
I 我 去 到 去 前方 和 消音 我 .
是的 , I 大學教師 't 知道 如果 那裡 的 任何事物 我們 做 關於 那 任何一個 .
那 的 得到 到 是 喜歡 a 飛漲 或者 可能 一個 網際網路 事物 .
出色地 , 讓 的 去 前方 和 做 這
和 然後 如果 I 看 那 事物 看 真的 洋基隊 ,
I 可能 是 訊息傳遞 你 .
但 I 思考 為了 這 最多 部分 ,
如果 你 只是 或許 拿 a 快的 暫停 之間 幻燈片 ,
我們 '二 是 好的 .
I '二 去 前方 和 沉默的 ,
和 然後 你 能 去 前方 和 得到 開始 , 湯姆 .
I 我 真的 高興的 到 是 這裡 今天 和 呈現 到 你 .
I '二 是 討論 化學 機械的 平面化 或者 CMP .
這 是 一個 不可缺少的 步 在 這 半導體 製造業 過程
那 I 將要 給 a 小的 位元 的 背景 在
作為 I 移動 透過 我的 幻燈片 .
讓 的 去 到 這 第一的 滑動 的 這 推介會 .
快的 概述 的 CMP .
一次 再次 , 那 站立 為了 化學 機械的 平面化 ,
和 那 描述 這 二 流程 涉及
和 平面化 肯定 層 的 電路 在 這 半導體 場地 .
它 的 至關重要的 到 平面化 每個 層 的 電路
所以 那 這 一 那 去 在 頂部 的 這 前 層
將要 不是 有 任何 短褲 或者 打開 或者 短的 電路 .
這 化學 部分 的 化學 機械的 平面化
是 什麼時候 我們 介紹 a 液體
到 反應 和 這 頂部 原子 層 的 這 材料 那 我們 是 平面化 .
那 反應 軟化 這 層 ,
無論 它 的 a 金屬 或者 一個 氧化物 , 任何 這 案件 可能 是 ,
我們 選擇 那 化學 所以 那 它 將要 軟化 這 頂部 原子 層 .
然後 這 機械的 部分 來
和 這 磨料 那 是 小心 選定 為了 那 拋光 泥 .
這些 磨料 然後 消除 那 軟化 頂部 層 ,
暴露 這 下一個 原子 層 到 是 軟化 經過 這 化學 反應 .
這 過程 是 重複 原子 層 後 原子 層
直到 這 想要的 等級 的 平面化 是 達到 .
喜歡 I 曾是 說 ,
這 平面化 是 至關重要的 到 做 在 之間 每個 層 的 電路
到 確保 那 我們 有 堅硬的 電力 隔離
沒有 任何 短褲 或者 打開 .
這 過程 啟用 我們 到 樁 許多 層 在 頂部 的 一 其他
和 減少 這 腳印 的 任何 晶片 我們 '關於 製作 .
什麼時候 我們 做 這 CMP 流程 ,
許多 的 他們 由 的 a 二 拋光 桌子 過程 到 使能夠 最大限度 吞吐量 .
通常 , 這 第一的 桌子 由 的 a 大部分 拋光
在哪裡 最多 的 a 物質 是 平面化 和 已移除 ,
和 然後 a 最終的 拋光 或者 第二 拋光 桌子
在哪裡 我們 做 這 最終的 觸碰 -UPS
和 確保 那 我們 有 好的 電力 隔離 之間 這 電路 .
每個 拋光 桌子 有 a 拋光 軟墊
在哪裡 我們 按 這 晶圓 包含 這 晶片 反對 ,
和 這 啟用 這 拋光 過程 到 發生
和 它 啟用 這 泥 到 是 按下 反對 這 晶圓 那 包含 這 晶片 .
這 拋光 軟墊 , 很遺憾 ,
它 穿著 向下 作為 每個 晶圓 是 拋光 在 它 ,
哪個 抑制 這 運輸 的 這 化學 泥 到 這 晶圓 表面 .
通常 , 作為 這 拋光 軟墊 穿著 , 我們 看 a 減少 在 拋光 速度 ,
哪個 原因 更長 和 更長 拋光 時代 .
如果 我們 大學教師 't 拿 那 穿 因素 進入 帳戶
和 我們 '關於 環境 向上 這 二 -桌子 過程 ,
然後 我們 將要 有 一 拋光 桌子 開始 到 占主導地位 ,
和 它 能 實際上 發展 這樣的 a 長的 拋光 時間
那 它 將要 變得 a 限制 因素 在 我們的 吞吐量 .
為了 我的 推介會 今天 ,
I 我 解釋 a 過程 由此 我們 能 拿 進入 帳戶 這 軟墊 穿 速度
和 仍然 確保 那 我們 有 最佳化 吞吐量 .
方法 和 這 結果 .
I 聚集 和 分析 數據 在 JMP
到 展示 這 拋光 時間 相對 拋光 軟墊 生活 關係
為了 表格 1 和 2 為了 a CMP 二 -桌子 過程
在 一 的 德州 儀器 製造 設施 .
I 然後 用過的 JMP 腳本 語言 ,
這 建造 -在 一體化 功能 到 計算 這 區域
在下面 這 拋光 時間 相對 軟墊 生活 曲線 為了 兩個都 表格 .
然後 , 最後 , I 用過的 這 系統 的 方程式
到 解決 為了 a 桌子 1 拋光 時間 開始 觀點
那 已啟用 平等的 拋光 時間 相對 拋光 軟墊 生活 融合的 區域
為了 表格 1 和 2 .
這 確保 那 我們 有 已達成 a 最大化 工具 輸出
為了 這 CMP 過程 .
結論 是 那 我們 能 使用 JMP
到 發展 , 第一的 的 全部 , 拋光 時間 相對 拋光 軟墊 生活 曲線 .
然後 , 第二 , 我們 能 使用 JMP 腳本 語言 , 建造 -在 整合商 .
我們 能 使用 這 組合
作為 一個 高效率的 方式 到 最佳化 CMP 二 桌子 流程 為了 吞吐量 .
讓 的 去 到 這 下一個 滑動 .
這 曲線 那 我們 '關於 尋找 在 是 什麼 我們 得到 什麼時候 我們 陰謀 這 拋光 時間
在 這 第一的 桌子 相對 這 拋光 軟墊 生活 的 那 第一的 桌子 .
作為 我們 能 看 , 這 拋光 時間 作為 這 軟墊 穿著
和 我們 拋光 更多的 和 更多的 晶圓 在 這 拋光 軟墊 ,
我們 開始 到 看 拋光 時代 增加 相當 戲劇性地 .
使用 JMP , 我們 能 合身 a 線 到 這 數據
和 發展 a 簡單的 Y 等於 Mx 加 b 坡 截距 功能 到 合身 這 數據 .
I 我 使用 a 第一的 命令 這裡 ,
但 如果 這 數據 合理的 它 , 我們 可以 使用 a 第二 或者 第三 命令 .
但 在 這 案件 , a 第一的 命令 是 充足的 .
我們 發達 這 方程式 為了 拋光 時間 相對 軟墊 數數 ,
和 然後 我們 使用 這 JSL 整合商 到 整合 這 區域 在下面 這 線 .
那 的 為了 這 拋光 桌子 1 .
然後 I '二 演講 a 小的 位元 更多的 關於 這 方程式 需要 到 解決
為了 這 最佳的 設定 .
但 第一的 的 全部 , 我們 '二 跳 到 拋光 桌子 2 .
拋光 桌子 2 是 這 最終的 , 它 的 這 精加工 桌子
在哪裡 我們 結束 移除 任何 這 大部分 材料 是
我們 '關於 使用 到 隔離 或者 形式 這些 電路 , 電力 電路 .
這 相同的 事物 為了 拋光 桌子 2 ,
我們 發達 這 曲線 從 歷史 數據
的 拋光 時間 在 秒 相對 這 拋光 軟墊 生活 .
通常 , 為了 這 拋光 平台 , 為了 這 最終的 平台 或者 最終的 桌子 ,
這 趨勢 和 拋光 軟墊 生活 是 不是 作為 發音 作為 它 是
為了 這 大部分 為了 桌子 1 .
前 討論 a 小的 位元 更多的 關於 這些 方程式 ,
只是 到 製作 當然 每個人 的 在 這 相同的 頁 ,
I 通緝 到 展示 什麼 身體 這 看起來 喜歡 在 這 晶圓 表面
為了 正在做 這 二 -桌子 拋光 過程 .
前 我們 開始 到 拋光 任何事物 ,
我們 有 a 晶圓 和 圖案 電路 在 它 .
然後 , 在 頂部 的 那 晶圓 ,
我們 已經 已存 a 大的 數量 , 相對地 請講 ,
的 無論 它 的 隔離器 或者 電力 導電 材料 ,
任何 是 需要 到 形式 這 電路 那 我們 已經 蝕刻 這裡 .
後 拋光 桌子 1 , 也 已知 作為 這 大部分 拋光 桌子 ,
我們 已經 已移除 a 重要的 數量 的 這 大部分 材料
和 我們 已經 平面化 它 , 製成 它 非常 平坦的 .
然後 後 拋光 桌子 2 ,
哪個 是 也 稱為 這 清除 或者 這 結束 桌子 ,
我們 已經 已移除 全部 的 這 大部分 材料
除了 在哪裡 它 的 實際上 需要 在 這 圖案 電路 .
身體方面 , 那 的 什麼 的 發生 在 這 二 拋光 桌子 過程 .
讓 的 去 後退 迅速地 到 這 方程式 .
我們 整合 這 區域 在下面 桌子 1 , 哪個 是 在 這 前 滑動 .
那 的 這 大部分 拋光 時間 相對 桌子 1 拋光 軟墊 數數 .
然後 我們 也 整合 這 區域 在下面 這 曲線 ,
哪個 是 這 最終的 或者 結束 桌子 .
相同的 事物 , 整合 這 區域 在下面 這 拋光 時間 相對 軟墊 數數 線 .
然後 我們 解決 這 線性 系統 的 方程式 到 尋找 哪個 Y -截距 ,
在 這 案件 , 它 的 b1 , 和 那 的 為了 這 桌子 1 .
我們 解決 為了 那 b1 那 將要 創造 一個 平等的 融合的 區域
在下面 這 桌子 1 和 這 桌子 2 曲線 .
只是 作為 a 提醒 ,
這 JMP 腳本 語言 有 a 便利 功能
為了 使能 快的 一體化
和 確定 這 區域 在下面 這些 二 曲線 .
然後 基於 在 a 很少 其他 特性
那 我們 知道 基於 在 歷史 或者 基線 分析 ,
然後 我們 '關於 有能力的 到 放 向上 a 系統 的 方程式
和 四 未知 , 四 方程式 ,
和 然後 我們 解決 為了 那 截距 在 這 第一的 曲線
那 啟用 最大限度 吞吐量 在 平等的 區域 在下面 這些 曲線 .
和 那 ,
幾乎 這 全部的 過程 能 是 完畢 在 JMP ,
和 這 例外 的 解決 a 系統 的 方程式
那 能 間接 是 完畢 在 JMP , 或者 你 能 寫 a 腳本 .
但 I 已經 成立 它 更輕鬆 只是 到 解決 這 系統 的 方程式 手動 ,
但 它 可以 容易地 是 放 向上 到 是 完畢 在 JMP 作為 出色地 .
什麼時候 你 結束 這 過程 ,
然後 你 '關於 有能力的 到 最佳化 這 二 -桌子 CMP 系統
和 你 能 最大化 這 吞吐量
和 所以 最小化 這 數位 的 拋光 工具 必需的 ,
哪個 儲存 a 很多 的 錢 和 儲存 a 很多 的 時間 .
那 是 這 結尾 的 我的 推介會 .
感謝 你 .
