| 揚聲器 |
文字稿 |
| 維克多·凱斯勒 |
是的，你好，我叫維克多‧凱斯勒。我目前在First Sensor公司工作，該公司剛剛被TE Connectivity收購。 |
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今天我將介紹特殊高能量離子的實現過程，以及如何使用 JMP 進行線性迴歸的過程控制。 |
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所以，First Sensor生產矽基壓力和光學感測器，以及我們著名的用於檢測光雪崩的專用產品。 |
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光電二極體。例如，它們目前被用於較輕型的系統中來檢測距離，而未來的應用之一可能是自動駕駛。 |
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因此，需要偵測微弱的光，而且速度要非常快，這就是我們雪崩光電二極體的用途。 |
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可以使用。這些二極體的特殊性能之一是其擊穿電壓。 |
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我們為客戶的特殊需求提供了相應的特性，他們需要根據應用情況調整擊穿電壓。 |
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因此，我們需要調整並把擊穿電壓設定在規格範圍內，顯然，這對二極體來說是一個非常敏感的過程。 |
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我們利用這種方法…我們透過控制光電二極體的摻雜分佈來控制擊穿電壓，而摻雜分佈又透過高能量離子注入製程來控制。所以，很明顯，我們正在製造這些… |
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光電二極體採用晶圓製程和微技術，因此需要經過漫長的工序。我們只需一步即可完成。 |
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請聯絡我們在德國薩克森州的亥姆霍茲德累斯頓-羅森多夫中心的合作夥伴，他們擁有專門的設備，可以在高能量下實現非常精確的劑量控制。而這個離子注入過程是在相當高的能量下進行的。 |
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我不會透露確切數字。 |
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目前這種技術需要能量，但普通的離子注入機無法實現，而且當需要用晶片進行注入時，劑量又非常低，這是另一個挑戰。 |
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而且它非常敏感，以至於亥姆霍茲德累斯頓-羅森多夫中心沒有真正的過程控製手段來檢查。 |
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確切的劑量。因此，需要做的是建立不同劑量水平與已植入藥物以及最終擊穿電壓之間的關係。 |
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這就是 |
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此外，也要取決於晶圓尺寸，因為我們製造的晶圓尺寸各不相同。 |
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我們提供兩種不同尺寸的光電二極體，產品應用領域也各不相同。 |
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為客戶製造，用於檢測不同波長的光。最終，我們確定了大約 10 個必要的製程控制步驟。 |
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這一點需要確立。還有另一個。 |
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這個過程控制的挑戰在於，這個過程本身（離子注入和擊穿電壓測量）需要數週甚至數月的時間，因此累積起來會相當可觀。 |
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是的，這確實是個挑戰。為了更好地進行製程控制和更精確的控制，我想到的方法是使用 JMP。 |
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為了實現整個過程的自動控制。那麼，要建立的是什麼呢？ |
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大多數……嗯……很多劇本都有日常的慣例 |
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為了在夜間自動安排腳本任務，開始搜尋最新的正確測量方法，這些測量是在流程的後端進行的。 |
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它會收集所有新的晶圓探針測量結果。這是必要的，因為我們目前還沒有相關的資料庫，所以我需要 |
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一個用於搜尋這些結果的腳本。它收集數據，並將其與保存在另一個表中的植入參數連接。 |
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並過濾異常值，並將統計值（特別是晶圓擊穿電壓的平均值）保存到相當全面的 JMP 資料表中。 |
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另外，我想，既然數據已經存在，我不如也生成一些晶圓圖用於目視檢查，並自動保存它們。 |
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留待稍後檢查。這一點可以在左側看到，我現在將放大圖像。 |
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是的。 |
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左側是擊穿電壓，右側繪製了另一個特性曲線，這對我們進行檢查很有幫助。您可以看到，擊穿電壓的分佈範圍相當廣，大約在… |
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在晶圓上，這種特性有相當大的差異；此外，晶圓之間以及晶圓運轉週期內，這種擊穿電壓也存在差異。 |
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是的，您可以看到，我不僅產生了晶圓圖，還包含了分佈圖，併計算了良率等等。其他一些特性我在標題中也提到了。 |
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以及徽標和元資訊。由於部分內容涉及機密信息，我將其塗成了黑色。 |
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是的，我們會自動保存每次晶圓問題測量的數據，這些晶圓圖譜用於後續檢查，並幫助我們了解製程。此外，我還可以看到其他實施參數的影響，所以我們有很多… |
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是的 |
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……與亥姆霍茲德勒斯登-羅森多夫中心有很強的回饋機制，因此我們會與他們一起調整流程。 |
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是的，這是每晚自動生成的視覺饗宴。這很不錯，但為了更好地控制這個過程，正如我所說，我們需要真正建立起劑量和擊穿電壓之間的關係。這就是在這裡實現的，你可以看到 |
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許多晶圓擊穿電壓中位數與劑量（即實施中使用的劑量）之間的關係。正如您在這裡看到的，存在相當大的差異，而且不僅限於… |
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單次劑量，因此存在晶圓間或批次間差異。 |
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因此，製作起來相當具有挑戰性，但從統計學的角度來看，當然，如果你不斷努力，你就能變得越來越好。 |
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目標是盡可能達到你想要的中位數，並獲得最高收益。這樣就能自動實現。 |
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為此，我們透過一個例程來建立完整的資料庫，該例程每晚運行一次，之後，我們或我使用預測分析器來確定客戶希望在其用途和規格範圍內達到的擊穿電壓。 |
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是的，這就是目前的狀況。 |
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這是一個線性關係，最終是在二階近似下建立的。我們實際上還可以考慮芯片相對論。 |
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但就目前而言，沒有必要這樣做。而且，要建立這種關係還需要更多的實驗。實際上……已經不可能將產量提高兩位數了。 |
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透過這種回歸過程。 |
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此外，展望未來，比如說，對於過程控制，我現在也會編寫腳本。 |
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擬合過程並將係數再次匯出到 Excel 表格中，最後，透過 Excel 選單，也可以由生產計劃控制。 |
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這 |
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生產計劃部門的同事可以利用最新的技術自行計算所需的劑量。 |
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為了得到相對於擊穿電壓的高良率，需要使用一些係數。是的，所以，很明顯，大部分的工作都是在腳本中完成。 |
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但編寫這段腳本的過程很愉快。當然，我還要感謝 First Sensor，尤其要感謝他們給予我們的幫助。 |
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能夠在此進行展示，還要感謝弗蘭克·庫德拉（Frank Kudella），他大部分時間都是該工藝的負責人，以及…，尤其要感謝來自亥姆霍茲德累斯頓-羅森多夫中心的羅曼·博特格（Roman Bottger）。非常感謝。 |
