La rugosidad de la superficie es una medida clave de los niveles de defectos en las industrias de semiconductores y pantallas porque la rugosidad de la superficie degrada el rendimiento eléctrico del dispositivo y afecta su vida útil. Durante el proceso de mecanizado, las causas de las fallas del proceso de rugosidad de la superficie pueden variar. Sin embargo, debido a la falta de modelos efectivos que puedan evaluar y analizar de manera integral los indicadores de rugosidad de la superficie, enfrentamos enormes desafíos para mejorar el proceso. Este proyecto tiene como objetivo establecer un paquete de análisis JMP para conectar indicadores de medición de rugosidad de superficies con modelos de distribución no normal para un análisis eficiente de la causa raíz y el ajuste del proceso. Este proyecto utiliza la plataforma de simulación aleatoria JMP para generar datos de perfil Z de rugosidad y los divide en seis modelos de distribución no normales: (1) normal (2) uniforme (3) sesgada a la derecha (5); ) bimodales; (6) valores atípicos (3%). Se calcularon cinco indicadores de medición de rugosidad superficial (Ra, Rz, Rp, Rv, Rk) y ocho parámetros estadísticos que describen la distribución . Se compararon diferentes métodos de agrupación, incluidos el grupo jerárquico, el grupo de K-medias, las mezclas normales, las variables de grupo, la correlación multivariada, el análisis de componentes principales y los gráficos de control basados en modelos , para ver si podían combinar eficazmente seis modelos de distribución no normal divididos en luz. grupos de cola y puntos discretos, y 13 variables se dividieron en agrupamiento de picos, agrupamiento asimétrico y agrupamiento de cola ligera. Distinga y prediga eficazmente la relación entre los indicadores de medición de rugosidad de la superficie y los modelos de distribución no normal. El proyecto JMP de minería de datos sobre rugosidad de superficies puede detectar eficazmente la causa de la falla del proceso, acortando así el tiempo de depuración del proceso. Además, hemos creado un sólido equipo multifuncional de análisis de rugosidad de superficies JMP dentro de la empresa para crear bases de datos (rugosidad, perfiles Z sin procesar, mediciones de rugosidad, ajustes de procesos) y desarrollar modelos predictivos para toda la empresa de Applied Materials .
