La repetibilidad y reproducibilidad del calibre (GRR) se utiliza ampliamente para evaluar la precisión de los instrumentos de medición. Sin embargo, el análisis GRR a menudo se ignora en los trabajos de ingeniería. Por lo tanto, para mejorar la calidad y eficiencia de la ingeniería, se debe implementar una investigación sistemática de GRR. Este artículo se centra en la aplicación innovadora de GRR en la optimización de máquinas de medición y máquinas de proceso de materiales aplicados, y resolvió con éxito el HVP del cliente . 1: Análisis GRR de la herramienta de medición de resistividad EPI : La resistividad ( RS ) es un parámetro clave de la película EPI, y la estabilidad del sistema de medición actual afecta seriamente la identificación y el desarrollo del proceso EPI. Después del análisis GRR, la relación P/T es 172% ( >30% ). Un análisis posterior reveló que la razón del bajo rendimiento de GRR era la mala repetibilidad de la medición de la herramienta. A continuación, realizamos pruebas Pair-T en las piezas probadas en diferentes momentos y utilizamos creativamente diagramas IMR para agrupar y analizar la resistencia de los anillos interior y exterior de la oblea. Se descubrió que la razón de la mala repetibilidad era la degradación de. la oblea durante el proceso de prueba y el espesor de la capa de óxido dentro y fuera de la oblea, la uniformidad de carga es diferente, y esta diferencia total es causada por el sistema de medición RS actual. Con base en el análisis experimental anterior, se propuso un plan de mejora para optimizar la herramienta de medición, cuya optimización posterior está en progreso. 2: Aplicación de GRR en el monitoreo de la tasa de captura ( CR ) de equipos de inspección óptica de obleas: El método actual para monitorear la tasa de captura de equipos de inspección óptica de obleas no ha sido calificado . Por lo tanto, es necesario utilizar el análisis GRR para calificar la efectividad de los métodos de monitoreo actuales y la deriva de las herramientas durante el período de garantía mensual. Los resultados muestran que el método de monitoreo actual es efectivo ( P/T=17% ) y la máquina no tiene problemas de deriva durante el período de garantía mensual. El proyecto también analizó las causas fundamentales de la elevada relación P/T ( > 10%). Los resultados muestran que debido a las limitaciones de las capacidades propias de la máquina, la máquina tiene problemas de repetibilidad de detección al detectar protuberancias específicas de 100 nm y defectos de intrusión. A través de esta investigación, se descubrió que el análisis GRR del número de defectos por sí solo no es suficiente para monitorear el rendimiento actual de la máquina. Es necesario realizar un análisis GRR de atributos de los tipos de defectos más desafiantes . Esta será una nueva dirección para el monitoreo del rendimiento. Equipo de inspección académica. 3 : Análisis GRR del efecto del tiempo de medición sobre el espesor del dióxido de silicio : El espesor del dióxido de silicio producido por la oxidación térmica aumentará con el tiempo. Si el tiempo de medición se selecciona incorrectamente, los resultados de la medición se verán seriamente afectados. Después del análisis GRR, se encontró que el intervalo de tiempo y el método de medición actuales cumplen con los requisitos ( relación P/T = 9% ). Luego se realizaron más investigaciones sobre la posibilidad de mejorar las especificaciones del proceso . Los resultados mostraron que con la capacidad actual de medición de GRR, las especificaciones del proceso se pueden mejorar aún más y reducir al 40% del original , mientras que la relación P/T se puede mantener en. 15% . Finalmente, a través de la plataforma de gráficos ICC , P/T y Cp, se desarrolló un enfoque sistemático para la mejora continua de los procesos y las capacidades de GRR, brindando orientación para la optimización continua de GRR y de los procesos. La implementación exitosa del proyecto GRR hizo que todo el equipo se diera cuenta de la importancia de GRR en el monitoreo de herramientas de medición y optimización de procesos. Con base en la investigación de los proyectos anteriores, el equipo formuló un plan de mejora para la implementación de GRR BKM, sentando las bases para mejorar el. Calidad y eficiencia del proyecto.
