GRR( 게이지 반복성 및 재현성 )은 측정 장비의 정확도를 평가하는 데 널리 사용됩니다. 그러나 엔지니어링 작업에서는 GRR 분석이 종종 무시됩니다. 따라서 엔지니어링 품질과 효율성을 향상시키기 위해서는 체계적인 GRR 연구가 이루어져야 한다. 이 기사에서는 응용 재료 측정 기계 및 공정 기계의 최적화에 있어 GRR의 혁신적인 적용에 중점을 두고 고객의 HVP를 성공적으로 해결했습니다 . 1: EPI 저항률 측정 도구의 GRR 분석 : 저항률( RS )은 EPI 필름의 핵심 매개변수이며 현재 측정 시스템의 안정성은 EPI 프로세스의 식별 및 개발에 심각한 영향을 미칩니다. GRR 분석 후 P/T 비율은 172% ( >30%) 입니다 . 후속 분석에 따르면 GRR 성능이 좋지 않은 이유는 공구 측정 반복성이 좋지 않기 때문인 것으로 나타났습니다. 다음으로, 서로 다른 시간에 테스트된 부품에 대해 pair-T 테스트를 수행 하고 IMR 다이어그램을 창의적으로 사용하여 웨이퍼의 내부 및 외부 링의 저항을 그룹화하고 분석했습니다. 반복성이 낮은 이유는 성능 저하 때문인 것으로 나타났습니다. 테스트 공정 중 웨이퍼와 웨이퍼 내부 및 외부의 산화물 층 두께는 전하 균일성이 다르며, 이 총 차이는 현재 RS 측정 시스템에 의해 발생합니다. 위의 실험적 분석을 바탕으로 측정 도구를 최적화하기 위한 개선안을 제안하였고, 후속 최적화를 진행 중이다. 2: 웨이퍼 광학 검사 장비의 캡처 속도( CR ) 모니터링에 GRR 적용: 웨이퍼 광학 검사 장비의 캡처 속도를 모니터링하는 현재 방법은 검증되지 않았습니다 . 따라서 월별 보증 기간 동안 현재 모니터링 방법의 효율성과 도구 드리프트를 검증하기 위해 GRR 분석을 사용할 필요가 있습니다 . 결과는 현재 모니터링 방법이 효과적이며( P/T=17% ) 월 보증 기간 동안 기계에 드리프트 문제가 없음을 보여줍니다. 또한 이 프로젝트는 높은 P/T 비율( >10%) 의 근본 원인을 분석했습니다 . 결과는 기계 자체 능력의 한계로 인해 기계가 특정 100nm 돌출 및 침입 결함을 감지하는 데 감지 반복성 문제가 있음을 보여줍니다. 이번 연구를 통해 결함 수에 대한 GRR 분석만으로는 현재 기계 성능을 모니터링하기에 충분하지 않다는 사실을 알게 되었으며 , 가장 까다로운 결함 유형에 대한 속성 GRR 분석이 수행되어야 합니다 . 학업 검사 장비. 3 : 측정 시간이 이산화규소 두께에 미치는 영향에 대한 GRR 분석 : 열산화에 의해 생성된 이산화규소의 두께는 시간이 지남에 따라 증가합니다. 측정 시간을 잘못 선택하면 측정 결과에 심각한 영향을 미칩니다. GRR 분석 결과 , 현재 측정 시간 간격과 방법이 요구 사항(P/T 비율=9%)을 충족하는 것으로 나타났습니다 . 그런 다음 프로세스 사양 개선 가능성에 대한 추가 연구가 수행되었습니다 . 결과는 현재의 GRR 측정 기능을 사용하여 프로세스 사양을 더욱 개선하고 원래의 40%로 줄이면서도 P /T 비율을 유지할 수 있는 것으로 나타났습니다. 15% . 마지막으로 ICC , P/T 및 Cp 차트 플랫폼을 통해 프로세스 및 GRR 기능의 지속적인 개선 에 대한 체계적인 접근 방식이 개발되어 GRR 및 프로세스의 지속적인 최적화를 위한 지침을 제공합니다. GRR 프로젝트의 성공적인 구현을 통해 팀 전체는 측정 도구 모니터링 및 프로세스 최적화에서 GRR의 중요성을 깨닫게 되었습니다. 팀은 위 프로젝트의 연구를 기반으로 GRR BKM 구현을 위한 개선 계획을 수립하여 개선을 위한 기반을 마련했습니다. 프로젝트의 품질과 효율성이 탄탄합니다.
