La ripetibilità e riproducibilità del misuratore (GRR) è ampiamente utilizzata per valutare l'accuratezza degli strumenti di misura. Tuttavia, l’analisi GRR viene spesso ignorata nel lavoro di ingegneria. Pertanto, al fine di migliorare la qualità e l’efficienza dell’ingegneria, è necessario implementare una ricerca sistematica sul GRR. Questo articolo si concentra sull'applicazione innovativa di GRR nell'ottimizzazione delle macchine di misurazione dei materiali applicati e delle macchine di processo e ha risolto con successo l'HVP del cliente . 1: Analisi GRR dello strumento di misurazione della resistività EPI : la resistività ( RS ) è un parametro chiave della pellicola EPI e la stabilità dell'attuale sistema di misurazione influisce seriamente sull'identificazione e sullo sviluppo del processo EPI. Dopo l'analisi GRR, il rapporto P/T è del 172% ( >30% ). L'analisi successiva ha rivelato che la ragione delle scarse prestazioni del GRR era la scarsa ripetibilità della misurazione dello strumento. Successivamente, abbiamo eseguito il test Pair-T sulle parti testate in momenti diversi e abbiamo utilizzato in modo creativo il grafico IMR per raggruppare e analizzare la resistenza degli anelli interno ed esterno del wafer. Si è riscontrato che il motivo della scarsa ripetibilità era il degrado del wafer durante il processo di test e lo spessore e lo spessore dello strato di ossido all'interno e all'esterno del wafer. L'uniformità della carica è diversa e questa differenza totale è causata dall'attuale sistema di misurazione RS. Sulla base dell'analisi sperimentale di cui sopra è stato proposto un piano di miglioramento per ottimizzare lo strumento di misurazione, ed è in corso la successiva ottimizzazione. 2: Applicazione del GRR nel monitoraggio della velocità di cattura ( CR ) delle apparecchiature di ispezione ottica dei wafer: l'attuale metodo di monitoraggio della velocità di cattura delle apparecchiature di ispezione ottica dei wafer non è stato qualificato . Pertanto, è necessario utilizzare l’analisi GRR per qualificare l’efficacia degli attuali metodi di monitoraggio e la deriva degli strumenti durante il periodo di garanzia mensile. I risultati mostrano che l'attuale metodo di monitoraggio è efficace ( P/T=17% ) e che la macchina non presenta problemi di deriva durante il periodo di garanzia mensile. Il progetto ha inoltre analizzato le cause profonde dell'elevato rapporto P/T ( > 10%). I risultati mostrano che, a causa delle limitazioni di capacità della macchina, la macchina presenta problemi di ripetibilità di rilevamento per specifiche sporgenze e difetti di intrusione di 100 nm. Attraverso questa ricerca, è stato scoperto che l'analisi GRR del numero di difetti da sola non è sufficiente per monitorare le prestazioni attuali della macchina. È necessario eseguire l'analisi GRR dei tipi di difetti più impegnativi . Questa sarà una nuova direzione per il monitoraggio delle prestazioni attrezzature per l'ispezione accademica. 3 : Analisi GRR dell'effetto del tempo di misurazione sullo spessore del biossido di silicio : Lo spessore del biossido di silicio prodotto dall'ossidazione termica aumenterà nel tempo. Se il tempo di misurazione viene selezionato in modo errato, i risultati della misurazione saranno seriamente influenzati. Dopo l'analisi GRR, si è riscontrato che l'intervallo di tempo e il metodo di misurazione attuali soddisfano i requisiti ( rapporto P/T=9% ). Successivamente sono state condotte ulteriori ricerche sulla possibilità di migliorare le specifiche del processo . I risultati hanno mostrato che con l'attuale capacità di misurazione GRR, le specifiche del processo possono essere ulteriormente migliorate e ridotte al 40% rispetto all'originale , mentre il rapporto P/T può essere mantenuto a un livello pari. 15% . Infine, attraverso la piattaforma grafica ICC , P/T e Cp, è stato sviluppato un approccio sistematico al miglioramento continuo dei processi e delle capacità GRR , fornendo indicazioni per l'ottimizzazione continua del GRR e dei processi. Il successo dell'implementazione del progetto GRR ha fatto sì che l'intero team si rendesse conto dell'importanza di GRR nel monitoraggio degli strumenti di misurazione e nell'ottimizzazione dei processi. Sulla base della ricerca dei progetti di cui sopra, il team ha formulato un piano di miglioramento per l'implementazione di GRR BKM, ponendo le basi per il miglioramento del progetto. qualità ed efficienza del progetto
