Gage Repeatability and Reproducibility (GRR) wird häufig zur Bewertung der Genauigkeit von Messgeräten verwendet. Allerdings wird die GRR-Analyse in der Ingenieursarbeit oft ignoriert. Um die Qualität und Effizienz des Ingenieurwesens zu verbessern, muss daher eine systematische GRR-Forschung durchgeführt werden. Dieser Artikel konzentriert sich auf die innovative Anwendung von GRR bei der Optimierung eingesetzter Materialmessmaschinen und Prozessmaschinen und hat das HVP des Kunden erfolgreich gelöst . 1: GRR-Analyse des EPI-Widerstandsmessgeräts : Der spezifische Widerstand ( RS ) ist ein Schlüsselparameter des EPI-Films, und die Stabilität des aktuellen Messsystems hat erhebliche Auswirkungen auf die Identifizierung und Entwicklung des EPI-Prozesses. Nach der GRR- Analyse beträgt das P/T-Verhältnis 172 % ( >30 % ). Die anschließende Analyse ergab, dass der Grund für die schlechte GRR-Leistung in der schlechten Wiederholbarkeit der Werkzeugmessungen lag. Als nächstes führten wir Pair-T-Tests an den zu unterschiedlichen Zeiten getesteten Teilen durch und nutzten kreativ IMR- Diagramme, um den Widerstand der inneren und äußeren Ringe des Wafers zu gruppieren und zu analysieren. Es wurde festgestellt, dass der Grund für die schlechte Wiederholbarkeit in der Verschlechterung lag Der Wafer während des Testprozesses und die Dicke der Oxidschicht innerhalb und außerhalb des Wafers. Die Ladungsgleichmäßigkeit ist unterschiedlich, und dieser Gesamtunterschied wird durch das aktuelle RS-Messsystem verursacht. Basierend auf der obigen experimentellen Analyse wurde ein Verbesserungsplan zur Optimierung des Messwerkzeugs vorgeschlagen, und die anschließende Optimierung ist im Gange. 2: Anwendung von GRR bei der Überwachung der Erfassungsrate ( CR ) von optischen Wafer-Inspektionsgeräten: Die aktuelle Methode zur Überwachung der Erfassungsrate von optischen Wafer-Inspektionsgeräten wurde nicht qualifiziert . Daher ist es notwendig, die GRR- Analyse zu verwenden, um die Wirksamkeit aktueller Überwachungsmethoden und die Drift von Werkzeugen während der monatlichen Garantiezeit zu qualifizieren. Die Ergebnisse zeigen, dass die aktuelle Überwachungsmethode effektiv ist ( P/T = 17 % ) und die Maschine während der monatlichen Garantiezeit kein Driftproblem aufweist. Das Projekt analysierte auch die Grundursachen für ein hohes P/T-Verhältnis ( > 10 %). Die Ergebnisse zeigen, dass die Maschine aufgrund der Einschränkungen ihrer eigenen Fähigkeiten Probleme mit der Erkennungswiederholbarkeit bei der Erkennung spezifischer 100-nm-Vorsprünge und Intrusionsdefekte hat. Durch diese Studie wurde festgestellt, dass die GRR -Analyse der Anzahl der Fehler allein nicht ausreicht, um die aktuelle Maschinenleistung zu überwachen. Es muss eine GRR-Analyse der anspruchsvollsten Fehlertypen durchgeführt werden akademische Inspektionsausrüstung. 3 : GRR-Analyse des Einflusses der Messzeit auf die Siliziumdioxiddicke : Die Dicke des durch thermische Oxidation erzeugten Siliziumdioxids nimmt mit der Zeit zu. Wenn die Messzeit falsch gewählt wird, werden die Messergebnisse ernsthaft beeinträchtigt. Nach der GRR- Analyse wurde festgestellt, dass das aktuelle Messzeitintervall und die aktuelle Messmethode die Anforderungen erfüllen ( P/T-Verhältnis = 9 % ). Anschließend wurden weitere Untersuchungen zur Möglichkeit einer Verbesserung der Prozessspezifikationen durchgeführt . Die Ergebnisse zeigten, dass mit der aktuellen GRR-Messfähigkeit die Prozessspezifikationen weiter verbessert und auf 40 % des Originals reduziert werden können , während das P/T-Verhältnis beibehalten werden kann 15 % . Schließlich wurde über die ICC- , P/T- und Cp-Diagrammplattform ein systematischer Ansatz zur kontinuierlichen Verbesserung von Prozessen und GRR-Fähigkeiten entwickelt , der Leitlinien für die kontinuierliche Optimierung von GRR und Prozessen bietet. Durch die erfolgreiche Umsetzung des GRR-Projekts wurde dem gesamten Team die Bedeutung von GRR für die Überwachung von Messinstrumenten und die Prozessoptimierung klar. Basierend auf der Forschung der oben genannten Projekte formulierte das Team einen Verbesserungsplan für die GRR-BKM-Implementierung und legte damit den Grundstein für die Verbesserung Qualität und Effizienz des Projekts
