La répétabilité et la reproductibilité des jauges (GRR) sont largement utilisées pour évaluer la précision des instruments de mesure. Cependant, l’analyse GRR est souvent ignorée dans les travaux d’ingénierie. Par conséquent, afin d’améliorer la qualité et l’efficacité de l’ingénierie, une recherche systématique sur le GRR doit être mise en œuvre. Cet article se concentre sur l'application innovante du GRR dans l'optimisation des machines de mesure des matériaux appliqués et des machines de traitement, et a résolu avec succès le HVP du client . 1 : Analyse GRR de l'outil de mesure de résistivité EPI : La résistivité ( RS ) est un paramètre clé du film EPI, et la stabilité du système de mesure actuel affecte sérieusement l'identification et le développement du processus EPI. Après analyse GRR, le rapport P/T est de 172 % ( >30 % ). Une analyse ultérieure a révélé que la mauvaise performance du GRR était due à une mauvaise répétabilité des mesures de l'outil. Ensuite, nous avons effectué des tests Pair-T sur les pièces testées à différents moments et utilisé de manière créative des diagrammes IMR pour regrouper et analyser la résistance des anneaux intérieurs et extérieurs de la plaquette. Il a été constaté que la mauvaise répétabilité était due à la dégradation de la résistance. La plaquette pendant le processus de test et l'épaisseur de la couche d'oxyde à l'intérieur et à l'extérieur de la plaquette sont différentes, et cette différence totale est causée par le système de mesure RS actuel. Sur la base de l'analyse expérimentale ci-dessus, un plan d'amélioration pour optimiser l'outil de mesure a été proposé, et l'optimisation ultérieure est en cours. 2 : Application du GRR à la surveillance du taux de capture ( CR ) des équipements d'inspection optique des plaquettes : La méthode actuelle de surveillance du taux de capture des équipements d'inspection optique des plaquettes n'a pas été qualifiée . Il est donc nécessaire d’utiliser l’analyse GRR pour qualifier l’efficacité des méthodes de surveillance actuelles et la dérive des outils pendant la période de garantie mensuelle. Les résultats montrent que la méthode de surveillance actuelle est efficace ( P/T=17 % ) et que la machine n'a aucun problème de dérive pendant la période de garantie mensuelle. Le projet a également analysé les causes profondes d' un rapport P/T élevé ( > 10 %). Les résultats montrent qu'en raison des limites des capacités propres de la machine, celle-ci présente des problèmes de répétabilité de détection dans la détection de saillies spécifiques de 100 nm et de défauts d'intrusion. Grâce à cette recherche, il a été constaté que l'analyse GRR du nombre de défauts à elle seule n'est pas suffisante pour surveiller les performances actuelles de la machine. Une analyse GRR des attributs des types de défauts les plus difficiles doit être effectuée . Ce sera une nouvelle direction pour la surveillance des performances. équipement d'inspection académique. 3 : Analyse GRR de l'effet du temps de mesure sur l'épaisseur du dioxyde de silicium : L'épaisseur du dioxyde de silicium produit par l'oxydation thermique augmentera avec le temps. Si le temps de mesure est mal sélectionné, les résultats de la mesure seront sérieusement affectés. Après analyse GRR, il a été constaté que l'intervalle de temps et la méthode de mesure actuels répondent aux exigences ( rapport P/T = 9 % ). Des recherches plus approfondies ont ensuite été menées sur la possibilité d'améliorer les spécifications du processus . Les résultats ont montré qu'avec la capacité actuelle de mesure du GRR, les spécifications du processus peuvent être encore améliorées et réduites à 40 % de l'original , tandis que le rapport P/T peut être maintenu à ce niveau. 15% . Enfin, grâce à la plateforme graphique ICC , P/T et Cp, une approche systématique de l'amélioration continue des processus et des capacités GRR a été développée , fournissant des conseils pour l'optimisation continue du GRR et des processus. La mise en œuvre réussie du projet GRR a permis à toute l'équipe de prendre conscience de l'importance du GRR dans la surveillance des outils de mesure et l'optimisation des processus. Sur la base des recherches sur les projets ci-dessus, l'équipe a formulé un plan d'amélioration pour la mise en œuvre du GRR BKM, jetant les bases de l'amélioration du projet. qualité et efficacité du projet.
