級別:初級
本計畫旨在透過減少PECVD製程中隨時間產生的顆粒來提高Cpk值。顆粒問題會導致良率損失和生產成本增加。整個生產過程分為三個階段:(1)使用JMP泊松分佈和ZIP分佈擬合顆粒數據;(2)將顆粒數據與JMP目標圖、性能圖和SPC控製圖相結合;(3)使用鄧內特法比較性能;(4)將泊松分佈與目標圖相結合,以修改後續階段的行動方案。
本計畫旨在降低PECVD製程中顆粒的生成量,並提高Cpk值。顆粒問題會導致良率降低和製造成本增加。整個生產過程分為三個階段:(1)使用JMP軟體的泊松分佈和ZIP分佈來擬合顆粒數據;(2)利用JMP軟體的目標圖、性能圖和SPC控製圖整合顆粒數據;(3)使用鄧內特法比較性能;(4)結合泊松分佈和目標圖,修訂下一階段的行動計畫。
River是應用材料公司(Applied Materials Corp.)的模組製程工程師,負責JMP製程。他自2015年起擔任PECVD(等離子增強化學氣相沉積)工程師5年,2021年起擔任模組製程工程師1年。 River的研究重點是缺陷/變異性/COO減少以及製程Cpk/匹配/輸出優化;並利用這些經驗為應用材料公司尋找機會或提升服務價值。
他是應用材料公司JMP製程部門的模組製程工程師。自2015年以來,他擔任等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)工程師五年,並自2021年起擔任模組製程工程師一年。他的研究方向是減少缺陷、變異性和成本,以及優化製程Cpk、匹配和產量。他致力於透過這些研究成果,發掘應用材料公司服務的潛在機會並提升其價值。