级别:初级
本项目旨在通过减少PECVD工艺中随时间产生的颗粒来提高Cpk值。颗粒问题会导致良率损失和生产成本增加。整个生产过程分为三个阶段:(1)使用JMP泊松分布和ZIP分布拟合颗粒数据;(2)将颗粒数据与JMP目标图、性能图和SPC控制图相结合;(3)使用邓内特法比较性能;(4)将泊松分布与目标图相结合,以修改后续阶段的行动方案。
本项目旨在降低PECVD工艺中颗粒的生成量,并提高Cpk值。颗粒问题会导致良率降低和制造成本增加。整个生产过程分为三个阶段:(1)使用JMP软件的泊松分布和ZIP分布拟合颗粒数据;(2)利用JMP软件的目标图、性能图和SPC控制图整合颗粒数据;(3)使用邓内特法比较性能;(4)结合泊松分布和目标图,修订下一阶段的行动计划。
River是应用材料公司(Applied Materials Corp.)的模块工艺工程师,负责JMP工艺。他自2015年起担任PECVD(等离子体增强化学气相沉积)工程师5年,自2021年起担任模块工艺工程师1年。River的研究重点是缺陷/变异性/COO减少以及工艺Cpk/匹配/输出优化;并利用这些经验为应用材料公司寻找机会或提升服务价值。
他是应用材料公司JMP工艺部门的模块工艺工程师。自2015年以来,他担任等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工程师五年,并自2021年起担任模块工艺工程师一年。他的研究方向是减少缺陷、变异性和成本,以及优化工艺Cpk、匹配和产量。他致力于通过这些研究成果,发掘应用材料公司服务的潜在机会并提升其价值。