Niveau: Anfänger
Dieses Projekt zielt darauf ab, den Cpk-Wert durch die Reduzierung der Partikelbildung im PECVD-Prozess zu verbessern. Partikelprobleme führen zu Ertragsverlusten und hohen Produktionskosten. Der Produktionsprozess ist in drei Phasen unterteilt: (1) Anpassung der Partikeldaten mit JMP Poisson- und ZIP-Verteilung. (2) Kombination der Partikeldaten mit JMP Goal Plot, Performance Plot und SPC-Regelkarte. (3) Vergleich der Leistung mit dem Dunnett-Test. (4) Kombination der Poisson-Verteilung mit dem Goal Plot zur Anpassung des Maßnahmenplans für die nächsten Phasen.
Dieses Projekt zielt darauf ab, die Partikelbildung beim PECVD-Verfahren im Laufe der Zeit zu reduzieren und den Cpk-Wert zu verbessern. Partikelprobleme führen zu geringeren Ausbeuten und höheren Herstellungskosten. Der gesamte Produktionsprozess ist in drei Phasen unterteilt: (1) Anpassung der Partikeldaten an JMP-Poisson- und ZIP-Verteilungen; (2) Kombination der Partikeldaten mithilfe von JMP-Ziel- und Leistungsdiagrammen sowie SPC-Regelkarten; (3) Vergleich der Leistung mit der Dunnett-Methode; und (4) Kombination der Poisson- und Zieldiagramme zur Überarbeitung des Maßnahmenplans für die nächste Phase.
River ist Modulprozessingenieur bei Applied Materials Corp. und im JMP-Prozess tätig. Er war seit 2015 fünf Jahre lang PECVD-Ingenieur (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) und seit 2021 ein Jahr lang Modulprozessingenieur. Rivers Forschungsschwerpunkt liegt auf der Reduzierung von Defekten, Variabilität und COO sowie der Optimierung von Prozess-Cpk, Matching und Output. Er identifiziert Verbesserungspotenziale und steigert den Wert der Dienstleistungen von Applied Materials durch die Nutzung dieser Erkenntnisse.
Er ist Modulprozessingenieur bei JMP Process von Applied Materials, Inc. Seit 2015 arbeitet er fünf Jahre lang als PECVD-Ingenieur (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) und seit 2021 ein Jahr als Modulprozessingenieur. Seine Forschungsschwerpunkte liegen in der Reduzierung von Defekten, Variabilität und COO sowie in der Optimierung von Prozess-Cpk, Matching und Ausbeute. Er konzentriert sich darauf, Verbesserungspotenziale für die Dienstleistungen von Applied Materials zu identifizieren und deren Wert durch diese Erkenntnisse zu steigern.
