PECVD顆粒的分析與改良_黃宇林(2022-JA-25MP-10)等級:初級
此專案是透過隨著時間的推移減少PECVD中產生的顆粒來提高Cpk。與JMP 目標圖、績效圖和SPC 控製圖結合。
該計畫旨在減少 PECVD 隨著時間的推移產生的顆粒並提高 Cpk。顆粒問題導致產量降低和製造成本升高。將整個製作時間分為三個階段。 (1)以JMP泊松分佈和ZIP分佈擬合顆粒資料。 (2) 使用 JMP 目標圖、效能圖和 SPC 控制圖組合粒子資料。 (3) 使用 Dunnett 方法比較效能。 (4)結合泊松分佈和目標圖修改下一階段的行動計畫。
來自Applied Materials Corp. 的JMP 製程模組製程工程師,自2015 年起擔任PECVD(等離子增強化學氣相沉積)工程師5 年,自2021 年起擔任模組製程工程師1 年,River 的研究重點是瑕疵/可變性/ 。
應用材料公司 JMP 製程模組製程工程師。我自 2015 年起擔任 PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)工程師五年,自 2021 年起擔任模組製程工程師一年。我們的研究主題是減少缺陷、變異和 COO,以及優化流程 Cpk、匹配和產出。
進階統計建模基礎資料分析與建模內容組織資料混合與清理數據探索和視覺化實驗設計品質和工藝工程可靠度分析