级别:初级
该项目是通过随着时间的推移减少PECVD中产生的颗粒来提高Cpk。颗粒问题导致产量损失和高生产成本。 (1)用JMP Poisson &拟合颗粒数据。 ZIP 分布。 (2) 将粒子数据与 JMP 目标图、绩效图和 SPC 控制图相结合。 (3) 将绩效与 Dunnett 方法相结合。 (4) 将泊松分布与目标图结合起来,修改下一阶段的行动计划。
该项目旨在减少 PECVD 随着时间的推移产生的颗粒并提高 Cpk。颗粒问题导致产量降低和制造成本升高。将整个制作时间分为三个阶段。 (1)用JMP泊松分布和ZIP分布拟合颗粒数据。 (2) 使用 JMP 目标图、性能图和 SPC 控制图组合粒子数据。 (3) 使用 Dunnett 方法比较性能。 (4)结合泊松分布和目标图修改下一阶段的行动计划。
来自 Applied Materials Corp. 的 JMP 工艺模块工艺工程师,自 2015 年起担任 PECVD(等离子增强化学气相沉积)工程师 5 年,自 2021 年起担任模块工艺工程师 1 年,River 的研究重点是缺陷/可变性/。减少 COO 和流程 Cpk/匹配/输出优化;通过这些学习发现应用服务的机会或增加价值。
应用材料公司 JMP 工艺模块工艺工程师。我自 2015 年起担任 PECVD(等离子体增强化学气相沉积)工程师五年,自 2021 年起担任模块工艺工程师一年。我们的研究主题是减少缺陷、变异和 COO,以及优化流程 Cpk、匹配和产出。通过这些学习,我们专注于识别应用材料公司的服务和增加价值的机会。