Bugnon Guillaume, Datenmanagement-Ingenieur, SOITEC
Baptist Follett, Ertragsingenieur, Soitec
Stephane Astie, Ertragsmanager, SOITEC
Halbleiterunternehmen stehen in puncto Herstellungskosten und -qualität ständig vor Herausforderungen. Ein effektives Ertragsmanagementsystem ist der Schlüssel zur Erkennung von Linienabweichungen und zur Minimierung von Ausschuss, um die Waferkosten und Qualitätseinbußen zu reduzieren. JMP hat Soitec seit 2007 dabei geholfen, die Ausbeute zu verbessern, indem es ein benutzerfreundliches Tool zur Visualisierung von Gerätedaten im Vergleich zu Produktausbeutedaten bereitstellt. 2010 wurden Methoden zur Durchführung einer Reihe statistischer Tests entwickelt, die an die Art der Antwortverteilung (normal, nicht normal, binär) angepasst sind, damit das Ertragsteam die Grundursache des Problems finden kann (spezielle JMP/JSL-Anwendung von Yield Guard). Bei mehreren Produkten und einer vollständigen Fertigungsumgebung sind Datenqualität und Echtzeitanalyse für eine genaue Bestimmung der Grundursache der Abweichung von entscheidender Bedeutung. Die agile Zusammenarbeit zwischen IT- und Ertragsteams ermöglicht es uns, ein automatisches Tool zu entwickeln, um diese Ziele zu erreichen und unsere Produktionslinie zu steuern. Wir würden uns freuen, unsere Methodik von der Datenerfassung bis zur Datenanalyse vorzustellen. Die Präsentation wird interaktiv mit JMP- und JSL-Codes durchgeführt.
