Bugnon Guillaume, Ingénieur Gestion des Données, SOITEC
Baptist Follett, Ingénieur Rendement, Soitec
Stéphane Astie, Yield Manager, SOITEC
Les fabricants de semi-conducteurs sont constamment confrontés à des défis en termes de coûts de fabrication et de qualité. Un système de gestion du rendement efficace est essentiel pour détecter les dérives de ligne et minimiser les rebuts afin de réduire les coûts et les impacts sur la qualité des plaquettes. JMP a aidé Soitec à améliorer le rendement depuis 2007 en fournissant un outil facile à utiliser pour visualiser les données des équipements par rapport aux données de rendement des produits. Des méthodes permettant d'effectuer un ensemble de tests statistiques adaptés à la nature de la distribution de réponse (normale, non normale, binaire) ont été développées en 2010 pour que l'équipe de rendement trouve la cause première du problème (application JMP/JSL dédiée à Yield Guard). Dans plusieurs produits et un environnement de fabrication complet, la qualité des données et l'analyse en temps réel sont essentielles pour déterminer avec précision la cause première de la dérive. Une collaboration agile entre les équipes informatiques et de rendement nous permet de développer un outil automatique pour atteindre ces objectifs afin de contrôler notre ligne de production. Nous serions fiers de présenter notre méthodologie, de la collecte des données à l'analyse des données. La présentation se fera de manière interactive avec les codes JMP et JSL.
