La rugosité de surface est une mesure clé des niveaux de défauts dans les secteurs des semi-conducteurs et des écrans, car elle dégrade les performances électriques d'un dispositif et affecte sa durée de vie. Au cours du processus d'usinage, les causes de l'échec du processus de rugosité de surface peuvent varier. Cependant, en raison du manque de modèles efficaces capables d'évaluer et d'analyser de manière exhaustive les indicateurs de rugosité de surface, nous sommes confrontés à d'énormes défis pour améliorer le processus. Ce projet vise à établirLe package d'analyse JMP connecte les indicateurs de mesure de rugosité de surface aux modèles de distribution non normale pour une analyse efficace des causes profondes et des ajustements de processus. Ce projet utilise la plateforme de simulation aléatoire JMP pour générer des données de profil Z de rugosité et les divise en six modèles de distribution non normale : (1) normale (2) uniforme (3) queue lourde ; ) bimodal (6) valeurs aberrantes (3 %). Cinq indicateurs de mesure de rugosité de surface (Ra, Rz, Rp, Rv, Rk) et huit paramètres statistiques décrivant la distribution ont été calculés . Différentes méthodes de regroupement, notamment le cluster hiérarchique, le cluster K-means, les mélanges normaux, les variables de cluster, la corrélation multivariée, l'analyse des composantes principales et les cartes de contrôle pilotées par modèle , ont été comparées pour voir si elles pouvaient combiner efficacement six modèles de distribution non normale. clusters à queue et points discrets, et 13 variables ont été divisées en clustering de pointe, clustering asymétrique et clustering à queue légère. Distinguer et prédire efficacement la relation entre les indicateurs de mesure de rugosité de surface et les modèles de distribution non normale. Le projet JMP d'exploration de données sur la rugosité de surface peut détecter efficacement la cause de l'échec du processus, réduisant ainsi le temps de débogage du processus. En outre, nous avons constitué une solide équipe interfonctionnelle d'analyse de la rugosité de surface JMP au sein de l'entreprise pour créer des bases de données (rugosité, profils Z bruts, mesures de rugosité, ajustements de processus) et développer des modèles prédictifs pour l'ensemble de l'entreprise Applied Materials .
