반도체 제조 공정 가변성 및 공정 능력 분석에 JMP 적용 – Applied Materials반도체 제조 분야에서는 에칭 등 다양한 공정이 통합되어야 합니다. 대량 생산 공정에서는 동일한 유형의 여러 기계를 동일한 공정에서 사용해야 합니다. 따라서 기계 간 성능 차이를 없애고 공정 능력과 안정성을 높이는 것이 중요합니다. 이 프로젝트의 주요 목표는 새로운 기계(챔버)가 표준 기계(챔버)와 일치하는지 확인하고 현재 프로세스의 성능과 안정성을 평가하는 것입니다. Machine Matching 부분에서는 먼저 적합한 부분군을 식별하고 정규분포에 속하는지 검증합니다. 그런 다음 표본 평균과 표준 편차를 신뢰할 수 있는 정규 분포 그룹이나 비정규 그룹의 경우 일원 분산 분석을 사용하여 그룹 평균의 분산을 조사합니다. 그런 다음 사용다중 비교 및 동등성 테스트와 같은 JMP 도구는 어떤 기계가 표준 기계와 크게 다른지, 얼마나 다른지 알아냅니다. 또한 회귀 모델을 사용하여 반응과 기본 요인 간의 상관 관계를 분석할 수 있습니다. 선형 또는 다항식 피팅을 통해 기계 간의 차이에 대한 이유를 찾을 수 있습니다. 또는 대응 t- 검정(정규성이 필요하지 않음)을 사용하여 쌍별 차이를 분석하고 결과를 ANOVA 모델과 비교할 수 있습니다. 공정 능력 및 안정성 분석에서는 먼저 정규 분포에 속하지 않는 하위 모집단의 표본 평균과 표준 편차에 대한 대체 값을 찾아야 합니다. 예를 들어, 단측 또는 양측 특이치 문제를 대체하기 위해 강인 평균 및 강인 표준편차를 사용할 수 있는 경우가 많습니다. 마지막으로 Ppk , Cpk 및 안정성 지수를 통해 공정능력의 안정성을 분석하였다 . 또한 결과를 보다 효과적으로 시각화하기 위해 목표 플롯과 공정 안정성 성능 플롯을 사용했습니다.
