Nel campo della produzione di semiconduttori è necessario integrare diversi processi (come l'incisione). Nel processo di produzione di massa è necessario utilizzare più macchine dello stesso tipo nello stesso processo. Pertanto, è fondamentale eliminare le differenze di prestazioni tra le macchine e migliorare le capacità e la stabilità del processo. L'obiettivo principale di questo progetto è verificare se la nuova macchina (camera) corrisponde alla macchina (camera) standard e valutare la capacità e la stabilità del processo attuale. Nella parte di corrispondenza della macchina, identifichiamo prima i sottogruppi idonei e verifichiamo se appartengono a una distribuzione normale. Quindi, per gruppi distribuiti normalmente o gruppi non normali in cui le medie campionarie e le deviazioni standard possono essere attendibili, viene utilizzata l'ANOVA unidirezionale per esaminare la varianza delle medie del gruppo. Quindi utilizzareGli strumenti JMP come i confronti multipli e i test di equivalenza rilevano quali macchine sono significativamente diverse dalla macchina standard e quanto sono diverse. Inoltre, i modelli di regressione possono essere utilizzati per analizzare le correlazioni tra le risposte e i fattori sottostanti. Attraverso l'adattamento lineare o polinomiale, possiamo scoprire le ragioni delle differenze tra le macchine. In alternativa, possiamo utilizzare un test t accoppiato (non è richiesta la normalità) per analizzare le differenze a coppie e confrontare i risultati con un modello ANOVA. Nell'analisi della capacità di processo e della stabilità, dobbiamo prima trovare valori alternativi per la media campionaria e la deviazione standard delle sottopopolazioni che non appartengono alla distribuzione normale. Ad esempio, possiamo spesso utilizzare la media robusta e la deviazione standard robusta per sostituire problemi anomali unilaterali o bilaterali. Infine, abbiamo analizzato la stabilità delle capacità del processo attraverso Ppk , Cpk e indice di stabilità. Abbiamo anche utilizzato grafici target e grafici delle prestazioni di stabilità del processo per visualizzare meglio i risultati.
