Im Bereich der Halbleiterfertigung müssen verschiedene Prozesse (z. B. Ätzen) integriert werden. Im Massenproduktionsprozess müssen mehrere Maschinen desselben Typs im selben Prozess verwendet werden. Daher ist es von entscheidender Bedeutung, Leistungsunterschiede zwischen Maschinen zu beseitigen und die Prozessfähigkeit und -stabilität zu verbessern. Das Hauptziel dieses Projekts besteht darin, zu überprüfen, ob die neue Maschine (Kammer) mit der Standardmaschine (Kammer) übereinstimmt, und die Leistungsfähigkeit und Stabilität des aktuellen Prozesses zu bewerten. Im maschinellen Matching-Teil identifizieren wir zunächst geeignete Untergruppen und überprüfen, ob sie zu einer Normalverteilung gehören. Dann wird für normalverteilte Gruppen oder nichtnormale Gruppen, bei denen den Stichprobenmittelwerten und Standardabweichungen vertraut werden kann, eine einfache ANOVA verwendet, um die Varianz der Gruppenmittelwerte zu untersuchen. Dann verwendenJMP- Tools wie Mehrfachvergleiche und Äquivalenztests finden heraus, welche Maschinen sich deutlich von der Standardmaschine unterscheiden und wie unterschiedlich sie sind. Darüber hinaus können Regressionsmodelle verwendet werden, um Korrelationen zwischen Antworten und zugrunde liegenden Faktoren zu analysieren. Durch lineare oder polynomielle Anpassung können wir die Gründe für Unterschiede zwischen Maschinen herausfinden. Alternativ können wir einen gepaarten t- Test (keine Normalität erforderlich) verwenden, um paarweise Unterschiede zu analysieren und die Ergebnisse mit einem ANOVA-Modell zu vergleichen. Bei der Prozessfähigkeits- und Stabilitätsanalyse müssen wir zunächst alternative Werte für den Stichprobenmittelwert und die Standardabweichung von Teilpopulationen finden, die nicht zur Normalverteilung gehören. Beispielsweise können wir häufig robuste Mittelwerte und robuste Standardabweichungen verwenden, um einseitige oder zweiseitige Ausreißerprobleme zu ersetzen. Abschließend haben wir die Stabilität der Prozessfähigkeiten anhand von Ppk , Cpk und dem Stabilitätsindex analysiert. Wir haben auch Zieldiagramme und Prozessstabilitätsleistungsdiagramme verwendet, um die Ergebnisse besser visualisieren zu können.
