Dans le domaine de la fabrication des semi-conducteurs, divers processus (comme la gravure) doivent être intégrés. Dans le processus de production de masse, plusieurs machines du même type doivent être utilisées dans le même processus. Par conséquent, il est crucial d’éliminer les différences de performances entre les machines et d’améliorer les capacités et la stabilité des processus. L'objectif principal de ce projet est de vérifier si la nouvelle machine (chambre) correspond à la machine standard (chambre) et d'évaluer la capacité et la stabilité du processus actuel. Dans la partie d'appariement automatique, nous identifions d'abord les sous-groupes appropriés et vérifions s'ils appartiennent à une distribution normale. Ensuite, pour les groupes normalement distribués ou les groupes non normaux où les moyennes de l'échantillon et les écarts types sont fiables, une ANOVA unidirectionnelle est utilisée pour examiner la variance des moyennes du groupe. Utilisez ensuiteLes outils JMP tels que les comparaisons multiples et les tests d'équivalence détectent quelles machines sont significativement différentes de la machine standard et dans quelle mesure elles le sont. De plus, des modèles de régression peuvent être utilisés pour analyser les corrélations entre les réponses et les facteurs sous-jacents. Grâce à un ajustement linéaire ou polynomial, nous pouvons découvrir les raisons des différences entre les machines. Alternativement, nous pouvons utiliser un test t apparié (aucune normalité requise) pour analyser les différences par paire et comparer les résultats avec un modèle ANOVA. Dans l'analyse de la capacité des processus et de la stabilité, nous devons d'abord trouver des valeurs alternatives pour la moyenne de l'échantillon et l'écart type des sous-populations qui n'appartiennent pas à la distribution normale. Par exemple, nous pouvons souvent utiliser une moyenne robuste et un écart type robuste pour remplacer les problèmes de valeurs aberrantes unilatérales ou bilatérales. Enfin, nous avons analysé la stabilité des capacités du processus à travers Ppk , Cpk et l'indice de stabilité. Nous avons également utilisé des tracés cibles et des tracés de performances de stabilité des processus pour mieux visualiser les résultats.
