半导体大批量生产中的生产线控制 (2020-EU-45MP-472)Guillaume BUGNON,Soitec 数据工程师
Stéphane ASTIE,Soitec 产量经理
半导体公司不断面临制造成本和质量方面的挑战。有效的产量管理系统是检测生产线漂移和减少废料以降低晶圆成本和质量影响的关键。自 2007 年以来,JMP 一直通过提供易于使用的工具来可视化设备数据与产品产量数据,帮助 Soitec 提高产量。2010 年,我们开发了一组适合响应分布性质(正态、非正态、二元)的统计测试方法,以便产量团队找到问题的根本原因(Yield Guard 专用 JMP/JSL 应用程序)。在多个产品和完整的晶圆厂环境中,数据质量和实时分析对于准确确定漂移根本原因至关重要。IT 和产量团队之间的敏捷协作使我们能够开发出一种自动化工具来实现这些目标,从而控制我们的生产线。我们很自豪地展示从数据收集到数据分析的方法。演示将与 JMP 和 JSL 代码以交互方式进行。
高级统计建模自动化和脚本基础数据分析与建模消费者和市场研究数据混合和清理数据探索与可视化实验设计大规模定制预测模型和机器学习质量与工艺工程可靠性分析分享和交流结果