La verificación del proceso se divide en tres etapas: diseño del proceso, validación del proceso y verificación continua del proceso. El contenido del trabajo y los participantes involucrados en las diferentes etapas son diferentes, pero todos requieren el apoyo de un trabajo de análisis estadístico relevante. Este discurso clasificará e introducirá sistemáticamente la aplicación de diferentes métodos estadísticos en varias etapas, como la aplicación de DOE en la etapa de desarrollo del proceso, la aplicación del análisis comparativo en la etapa de transferencia de tecnología, la aplicación del análisis de equivalencia en pequeña escala. validación de modelos, Monte Carlo La aplicación de la simulación Luo en la caracterización de procesos, la aplicación del análisis de estabilidad en la evaluación de métodos y la aplicación de gráficos de control en la verificación continua de procesos, etc.