프로세스 검증은 프로세스 설계, 프로세스 검증, 지속적인 프로세스 검증의 세 단계로 구분됩니다. 다양한 단계에 참여하는 작업 내용과 참여자는 다르지만 모두 관련 통계 분석 작업의 지원이 필요합니다. 이번 강연에서는 프로세스 개발 단계의 DOE 적용, 기술 이전 단계의 비교 분석 적용, 소규모 동등성 분석 적용 등 다양한 단계에서 다양한 통계 방법을 적용하는 방법을 체계적으로 정리하여 소개할 예정입니다. 모델 검증, 몬테카를로 공정 특성화에 Luo 시뮬레이션 적용, 방법 평가에 안정성 분석 적용, 지속적인 공정 검증에 관리도 적용 등
