プロセス検証のさまざまな段階での統計分析ツールの適用プロセス検証は、プロセス設計、プロセス検証、継続的プロセス検証の 3 つの段階に分かれています。作業内容や各段階に関わる参加者は異なりますが、いずれも関連する統計分析作業のサポートが必要です。本講演では、プロセス開発段階でのDOEの適用、技術移転段階での比較分析の適用、小規模での同等性分析の適用など、さまざまな段階におけるさまざまな統計手法の適用を体系的に整理して紹介します。モデル検証、モンテカルロ プロセス特性評価における Luo シミュレーションの適用、メソッド評価における安定性解析の適用、連続プロセス検証における管理図の適用など。
実験計画法
