La verifica del processo è divisa in tre fasi: progettazione del processo, convalida del processo e verifica continua del processo. Il contenuto del lavoro e i partecipanti coinvolti nelle diverse fasi sono diversi, ma tutti richiedono il supporto di un lavoro di analisi statistica pertinente. Questo discorso selezionerà e introdurrà sistematicamente l'applicazione di diversi metodi statistici in varie fasi, come l'applicazione del DOE nella fase di sviluppo del processo, l'applicazione dell'analisi comparativa nella fase di trasferimento tecnologico, l'applicazione dell'analisi di equivalenza in studi su piccola scala validazione del modello, Monte Carlo L'applicazione della simulazione Luo nella caratterizzazione del processo, l'applicazione dell'analisi di stabilità nella valutazione del metodo e l'applicazione delle carte di controllo nella verifica continua del processo, ecc.
