Die Prozessverifizierung ist in drei Phasen unterteilt: Prozessdesign, Prozessvalidierung und kontinuierliche Prozessverifizierung. Die Arbeitsinhalte und beteiligten Teilnehmer in den verschiedenen Phasen sind unterschiedlich, erfordern jedoch alle die Unterstützung durch relevante statistische Analysearbeiten. In diesem Vortrag wird die Anwendung verschiedener statistischer Methoden in verschiedenen Phasen systematisch erläutert und vorgestellt, z. B. die Anwendung von DOE in der Prozessentwicklungsphase, die Anwendung vergleichender Analyse in der Technologietransferphase und die Anwendung der Äquivalenzanalyse im kleinen Maßstab Modellvalidierung, Monte Carlo Die Anwendung der Luo-Simulation bei der Prozesscharakterisierung, die Anwendung der Stabilitätsanalyse bei der Methodenbewertung und die Anwendung von Regelkarten bei der kontinuierlichen Prozessverifizierung usw.
