La vérification des processus est divisée en trois étapes : la conception du processus, la validation du processus et la vérification continue du processus. Le contenu du travail et les participants impliqués dans les différentes étapes sont différents, mais ils nécessitent tous le soutien d'un travail d'analyse statistique pertinent. Ce discours triera et présentera systématiquement l'application de différentes méthodes statistiques à différentes étapes, telles que l'application du DOE dans la phase de développement du processus, l'application de l'analyse comparative dans la phase de transfert de technologie, l'application de l'analyse d'équivalence à petite échelle. validation du modèle, Monte Carlo L'application de la simulation Luo dans la caractérisation des processus, l'application de l'analyse de stabilité dans l'évaluation des méthodes et l'application des cartes de contrôle dans la vérification continue des processus, etc.
