如何取得批量晶圓的製程參數良率?我想從樣本資料表「Semiconductor Capability.jmp」中取得每個「批次 ID 中的晶圓 ID」的製程參數良率。
However, I am not able to proceed as I am getting an error: "Process Screening requires at least 7 rows of data."
Names Default To Here (1);
clear log ();
dt = Open("$SAMPLE_DATA/Semiconductor Capability.jmp");
col_names = dt << Get Column Group("Processes");
ps = dt << Process Screening (Process Variables( Eval( col_names )),
Spec Limits Dialog( "No (skip columns with no spec limits)" ),
Control Chart Type ("Indiv and MR"),
By( :wafer );// Just to demonstrate
//By (:"Wafer ID in lot ID");I need this but this throws error in JMP 16.2.0 (Error: Process Screening requires at least 7 rows of data.). Why?
);
我哪裡錯了?
一旦上述腳本適用於 By: 批次 ID 中的晶圓 ID,我想取得以下形式的資料表(摘要?)
Column1:批次 ID 中的晶圓 ID
第 2 列:進程名稱
第3欄:
製程參數產量 = 100* # 傳遞站點(上述腳本給出的每個參數,我認為(5 - “超出規格計數”))/ # 每個“批次 ID 中的晶圓 ID”測量的站點
(在此範例資料案例中,每個晶圓測量了 5 個位置)
如何透過 JSL 執行此操作?
自動化和腳本編寫視窗回覆:如何取得批量晶圓的製程參數良率?您是否嘗試過使用 Group 而不是 By 來進行分組列?
回覆:如何取得批量晶圓的製程參數良率?@jthi是的,我確實嘗試按“批次ID中的晶圓ID”分組,這給了我一個包含所需數據的表,但我無法從中提取我想要的參數產量。我正在考慮使用 Summarize 功能,但尚未確定如何使用它。任何幫助都會非常有用。
回覆:如何取得批量晶圓的製程參數良率?我不確定您希望使用 Summarize 做什麼?您可以輕鬆地從過程篩選中獲得這樣的表格,然後只需添加一個公式,您就應該得到您需要的東西(或者也許我遺漏了一些東西)

回覆:如何取得批量晶圓的製程參數良率?由於這已被標記為已解決,我還將提供至少某種最終解決方案
Names Default To Here(1);
dt = Open("$SAMPLE_DATA/Semiconductor Capability.jmp");
ps = dt << Process Screening(
Process Variables(Column Group("Processes")),
Grouping(:Wafer ID in lot ID),
Control Chart Type("Indiv and MR"),
Within Sigma(0),
Overall Sigma(0),
Stability Index(0),
Mean(0),
Show Tests(0),
Test 1(0),
Out of Spec Rate(0),
Latest Out of Spec(0),
Cpk(0),
Ppk(0)
);
dt_result = Report(ps)[Outline Box("Process Screening"), Table Box(1)] << Make Into Data Table;
ps << close window;
wait(0);
new_col = dt_result << New Column("Yield", Numeric, Continuous, Format("Percent", 12, 3), Formula(
(:Count - :"Out of Spec Count"n) / :Count)
);
dt_result << run formulas;
new_col << delete formula;