로트에서 웨이퍼별로 공정변수 수율을 얻는 방법은 무엇입니까?샘플 데이터 테이블 "Semiconductor Capability.jmp"에서 "로트 ID의 웨이퍼 ID"별로 프로세스 매개변수 수율을 얻고 싶습니다.
However, I am not able to proceed as I am getting an error: "Process Screening requires at least 7 rows of data."
Names Default To Here (1);
clear log ();
dt = Open("$SAMPLE_DATA/Semiconductor Capability.jmp");
col_names = dt << Get Column Group("Processes");
ps = dt << Process Screening (Process Variables( Eval( col_names )),
Spec Limits Dialog( "No (skip columns with no spec limits)" ),
Control Chart Type ("Indiv and MR"),
By( :wafer );// Just to demonstrate
//By (:"Wafer ID in lot ID");I need this but this throws error in JMP 16.2.0 (Error: Process Screening requires at least 7 rows of data.). Why?
);
내가 어디로 잘못 가고 있습니까?
위 스크립트가 Lot ID의 By: Wafer ID에 대해 작동하면 다음 형식의 데이터 테이블(요약?)을 가져오고 싶습니다.
Column1: 로트 ID의 웨이퍼 ID
Column2: 프로세스 이름
열3:
프로세스 매개변수 수율 = 100* # 통과 사이트(위 스크립트가 제공하는 매개변수당, 제 생각에는 (5 - "사양 범위를 벗어남"))/ # "로트 ID의 웨이퍼 ID"별로 측정된 사이트
(이 예제 데이터 사례에서는 웨이퍼당 측정된 5개 사이트)
JSL을 통해 이를 수행하는 방법은 무엇입니까?
자동화 및 스크립팅윈도우Re: 로트에서 웨이퍼별 공정 매개변수 수율을 얻는 방법은 무엇입니까?그룹화 열에 기준 대신 그룹을 사용해 보셨나요?
Re: 로트에서 웨이퍼별 공정 매개변수 수율을 얻는 방법은 무엇입니까?@jthi 예, 필요한 데이터가 포함된 테이블을 제공하는 "로트 ID의 웨이퍼 ID"별로 그룹화를 시도했지만 원하는 매개변수 수율을 추출할 수 없었습니다. 요약 기능을 사용하려고 하는데 아직 어떻게 사용하는지 잘 모르겠습니다. 어떤 도움이라도 매우 유용할 것입니다.
Re: 웨이퍼 로트별로 공정 매개변수 수율을 얻는 방법은 무엇입니까?요약을 어떤 용도로 사용하고 싶은지 잘 모르겠습니다. Process Screening에서 이와 같은 테이블을 아주 쉽게 얻을 수 있으며, 수식 하나만 추가하면 필요한 것을 얻을 수 있습니다(또는 뭔가 빠졌을 수도 있습니다).
Re: 웨이퍼 로트별로 공정 매개변수 수율을 얻는 방법은 무엇입니까?이 문제가 해결된 것으로 표시되었으므로 최소한 일종의 최종 솔루션도 제공하겠습니다.
Names Default To Here(1);
dt = Open("$SAMPLE_DATA/Semiconductor Capability.jmp");
ps = dt << Process Screening(
Process Variables(Column Group("Processes")),
Grouping(:Wafer ID in lot ID),
Control Chart Type("Indiv and MR"),
Within Sigma(0),
Overall Sigma(0),
Stability Index(0),
Mean(0),
Show Tests(0),
Test 1(0),
Out of Spec Rate(0),
Latest Out of Spec(0),
Cpk(0),
Ppk(0)
);
dt_result = Report(ps)[Outline Box("Process Screening"), Table Box(1)] << Make Into Data Table;
ps << close window;
wait(0);
new_col = dt_result << New Column("Yield", Numeric, Continuous, Format("Percent", 12, 3), Formula(
(:Count - :"Out of Spec Count"n) / :Count)
);
dt_result << run formulas;
new_col << delete formula;
