ロット内のウェハごとにプロセスパラメータの歩留まりを取得するにはどうすればよいでしょうか?サンプル データ テーブル「Semiconductor Capability.jmp」から「ロット ID 内のウェーハ ID」ごとのプロセス パラメータの歩留まりを取得したいと考えています。
However, I am not able to proceed as I am getting an error: "Process Screening requires at least 7 rows of data."
Names Default To Here (1);
clear log ();
dt = Open("$SAMPLE_DATA/Semiconductor Capability.jmp");
col_names = dt << Get Column Group("Processes");
ps = dt << Process Screening (Process Variables( Eval( col_names )),
Spec Limits Dialog( "No (skip columns with no spec limits)" ),
Control Chart Type ("Indiv and MR"),
By( :wafer );// Just to demonstrate
//By (:"Wafer ID in lot ID");I need this but this throws error in JMP 16.2.0 (Error: Process Screening requires at least 7 rows of data.). Why?
);
どこが間違っているのでしょうか?
上記のスクリプトがロットIDのウェーハIDで機能したら、次の形式でデータテーブル（概要？）を取得したいと思います。
列1: ロットID内のウェーハID
列2: プロセス名
コラム3:
プロセスパラメータ収率 = 100* # 合格サイト（上記のスクリプトで指定されたパラメータごとに、(5 - 「仕様外数」)）/ # 「ロット ID 内のウェーハ ID」ごとに測定されたサイト
（この例のデータケースでは、ウェーハあたり 5 つのサイトを測定）
JSL 経由でこれを実行するにはどうすればよいですか?
自動化とスクリプトウィンドウズRe: ロット内のウェハーごとのプロセスパラメータ歩留まりを取得するにはどうすればいいですか?列をグループ化するために、By ではなく Group を使用してみましたか?
Re: ロット内のウェハーごとのプロセスパラメータ歩留まりを取得するにはどうすればいいですか?@jthiはい、「ロット ID 内のウェーハ ID」によるグループ化を試しました。必要なデータを含むテーブルが表示されますが、そこから必要なパラメータの収率を抽出できませんでした。Summarize 機能の使用を考えていますが、まだ使い方がよくわかりません。どんな助けでもいただければ大変助かります。
Re: ロット内のウェハーごとのプロセスパラメータ歩留まりを取得するにはどうすればいいですか?要約を何に使用したいのかわかりません。プロセス スクリーニングからこのようなテーブルを簡単に取得できます。その後、数式を 1 つ追加するだけで、必要なものが得られます (または、何か見落としているかもしれません)
Re: ロット内のウェハーごとのプロセスパラメータ歩留まりを取得するにはどうすればよいでしょうか?これは解決済みとしてマークされているので、少なくとも何らかの最終的な解決策も提供します。
Names Default To Here(1);
dt = Open("$SAMPLE_DATA/Semiconductor Capability.jmp");
ps = dt << Process Screening(
Process Variables(Column Group("Processes")),
Grouping(:Wafer ID in lot ID),
Control Chart Type("Indiv and MR"),
Within Sigma(0),
Overall Sigma(0),
Stability Index(0),
Mean(0),
Show Tests(0),
Test 1(0),
Out of Spec Rate(0),
Latest Out of Spec(0),
Cpk(0),
Ppk(0)
);
dt_result = Report(ps)[Outline Box("Process Screening"), Table Box(1)] << Make Into Data Table;
ps << close window;
wait(0);
new_col = dt_result << New Column("Yield", Numeric, Continuous, Format("Percent", 12, 3), Formula(
(:Count - :"Out of Spec Count"n) / :Count)
);
dt_result << run formulas;
new_col << delete formula;
