반도체 공장 용량 모델링에는 수천 개의 프로세스 레시피에 대한 처리량 값(PPH)의 유지 관리가 포함됩니다. 각 실행마다 처리 데이터가 저장되어 PPH 값을 결정하는 데 사용할 수 있는 풍부한 기록 데이터 풀을 제공합니다. 용량 모델링에서는 용량을 저하시키는 비효율성이 처리량에서 분리되므로 모델링된 PPH는 연속 작동 시 최고의 성능을 나타내야 합니다. 이러한 요구 사항은 기록 데이터를 선별하는 프로세스를 복잡하게 하며, 프로세스 전문가는 분석에서 제외해야 하는 비정상 상태 실행을 식별하기 위해 특별한 주의를 기울여야 합니다.
JSL을 사용하여 과거 처리량 데이터 분석을 지원하여 용량 모델링에 사용할 레시피별로 PPH를 평가, 선택 및 문서화하는 대화형 도구가 만들어졌습니다. 이 스크립트는 JSL 강화 플랫폼과 사용자 정의 컨트롤을 활용하여 안정 상태 실행의 변형 및 격리 소스를 탐색하는 데 도움을 주는 완전히 대화형이며 자체 포함된 대시보드 애플리케이션을 구성합니다. PPH 값 선택은 대시보드에서 직접 이루어지고 문서화되며, 마지막으로 선택된 값과 분포의 요약을 PowerPoint로 내보내 완전한 분석 보고서를 작성할 수 있습니다.
이 프레젠테이션에는 대시보드 도구의 데모가 포함되어 있으며 스크립트의 일부를 안내합니다.
