JMP ソフトウェアを使用して、積み重ねられたガラス基板間のエアギャップ測定の詳細な視覚化が作成されました。この視覚化は、基板に接触せずにギャップを正確に測定する低コヒーレンス干渉法を使用した綿密な測定プロセスを通じて生成されました。これらの測定値を XY プロット (分位グループ化) にプロットすることにより、JMP は基板表面全体のエアギャップの変化を明確に空間的に表現します。
JMP で生成された表面プロットは、基板表面の地形図を表示することで、理解をさらに深めます。この視覚化は、スタックの中央の大きな湾曲を強調表示するため、非常に重要です。この湾曲は、接着時のストレスや、生産ラインのさらに先での剥離につながる欠陥です。
JMP の分析ツールを利用して、根本原因分析を実施しました。ソフトウェアからの視覚的な出力により、中心となるボウが正確に特定され、迅速な修正措置が可能になりました。このプロセスは、複雑なデータを実用的な洞察に変換し、積み重ねられたガラス基板の製造の整合性を確保する JMP のパワーを示しています。このプレゼンテーションでは、JMP の新しいワークフロー アドインによって、スクリプト指向でないユーザーがスクリプトの知識に依存せずにデータを表示できることも示しています。
