半導体工場のキャパシティ モデリングには、何千ものプロセス レシピのスループット値 (1 時間あたりの部品数 [PPH]) の維持が含まれます。処理データは実行ごとに保存され、PPH 値を決定するために使用できる豊富な履歴データ プールが提供されます。キャパシティ モデリングでは、キャパシティを低下させる非効率性はスループットから分離されるため、モデル化された PPH は連続操作における最高のパフォーマンスを表す必要があります。これらの要件により、履歴データをふるいにかけるプロセスが複雑になり、プロセスの専門家は、分析から除外する必要がある非定常状態の実行を識別するために特別な注意を払う必要があります。
JSL を使用して、容量モデリングで使用するレシピごとに PPH を評価、選択、および文書化するための履歴スループット データの分析を支援するインタラクティブ ツールが作成されました。スクリプトは、JSL 拡張プラットフォームとカスタム コントロールを使用して、変動の原因の調査と定常状態の実行の分離を支援する、完全にインタラクティブで自己完結型のダッシュボード アプリケーションを構築します。PPH 値の選択はダッシュボードで直接行われ、文書化されます。最後に、選択した値と分布の概要を PowerPoint にエクスポートして、完全な分析レポートを作成できます。
このプレゼンテーションには、ダッシュボード ツールのデモンストレーションが含まれており、スクリプトの各部分について説明します。
