Die Kapazitätsmodellierung von Halbleiterfabriken umfasst die Pflege von Durchsatzwerten (als Teile pro Stunde [PPH]) für Tausende von Prozessrezepten. Die Verarbeitungsdaten werden für jeden Lauf gespeichert, wodurch ein reichhaltiger Pool historischer Daten entsteht, der zur Bestimmung der PPH-Werte verwendet werden kann. Bei der Kapazitätsmodellierung werden Ineffizienzen, die die Kapazität beeinträchtigen, vom Durchsatz isoliert, sodass die modellierte PPH die höchste mögliche Leistung bei kontinuierlichem Betrieb darstellen sollte. Diese Anforderungen erschweren das Durchsuchen historischer Daten, und Prozessexperten müssen besonders sorgfältig vorgehen, um nicht stationäre Läufe zu identifizieren, die von der Analyse ausgeschlossen werden sollten.
Mithilfe von JSL wurde ein interaktives Tool erstellt, das bei der Analyse historischer Durchsatzdaten hilft, um PPHs nach Rezept für die Verwendung in der Kapazitätsmodellierung zu bewerten, auszuwählen und zu dokumentieren. Das Skript erstellt eine vollständig interaktive, in sich geschlossene Dashboard-Anwendung, die JSL-erweiterte Plattformen und benutzerdefinierte Steuerelemente verwendet, um bei der Untersuchung von Variationsquellen und der Isolierung von Steady-State-Läufen zu helfen. Die Auswahl der PPH-Werte erfolgt direkt im Dashboard und wird dort dokumentiert. Abschließend kann eine Zusammenfassung der ausgewählten Werte und Verteilungen für einen vollständigen Analysebericht in PowerPoint exportiert werden.
Diese Präsentation umfasst eine Demonstration des Dashboard-Tools und führt durch Teile des Skripts.
