La evaluación de la confiabilidad de dispositivos e interconexiones en tecnologías de semiconductores generalmente se realiza para la certificación de tecnología y el monitoreo periódico, utilizando tamaños de muestra relativamente pequeños (de un solo dígito a decenas) por condición. Los datos de fabricación en volumen se pueden utilizar a lo largo del tiempo para evaluar la confiabilidad dieléctrica mediante mediciones de ruptura de voltaje en rampa en estructuras de prueba de carril trazado. Con el tiempo, esto puede proporcionar una visión detallada del comportamiento dieléctrico, incluida una combinación de mecanismos intrínsecos y extrínsecos que afectan la integridad dieléctrica. En particular, se pueden detectar y abordar valores atípicos o colas con baja tasa de fallas, que de otro modo podrían plantear riesgos para la calidad del campo.
Por razones prácticas, la rampa se puede detener en un voltaje objetivo para reducir el tiempo de prueba y evitar daños a las tarjetas y agujas de las sondas, lo que puede resultar en la censura de una pequeña cantidad de puntos de datos. Ajustar grandes conjuntos de datos con una pequeña cantidad de puntos de datos censurados puede generar desafíos de convergencia, lo que resulta en parámetros de ajuste incorrectos y falta de intervalos de confianza, además de plantear importantes desafíos computacionales.
Este trabajo explora estos desafíos con la plataforma JMP Life Distribution y examina alternativas y soluciones para permitir un análisis, ajuste y extrapolación correctos.
