- 반도체 업계(소재, 제조 장치도 포함)에서는 연구 개발, 품질·신뢰성 관리, 제조, 검사의 각 단계에서 활용할 수 있는 JMP의 기능이 있습니다.
- 본 동영상에서는, JMP의 개요나 반도체 업계에서의 이용 사례를 소개해, 데이터 해석 및 통계 해석에 있어서의 JMP의 기능과 그 활용예에 대해서 데모를 섞어 소개합니다. 마지막으로 JMP를 활용하기 위한 리소스도 소개하고 있습니다.
- 반도체 업계용 사례의 소개, 데이터 예가 되고 있습니다만, 제조업(전자 부품, 자동차, 반도체 이외의 소재 등)의 연구, 품질 관리, 제조 등에 종사되고 있는 분이라도 도움이 되는 내용이 되고 있다 합니다.
※본 동영상, 자료는, 제작 시점(2024년 6월)에서의 최신 버젼 「JMP(JMP Pro) 18.0.1」을 이용하고 있습니다.
※이 페이지에서 세미나에서 사용한 자료(pdf)를 다운로드할 수 있습니다.
목차
소개. JMP 개요 및 반도체 산업에서의 사용
JMP의 특징과 반도체 업계에서 어떻게 JMP를 이용하고 있는지에 대해서 이용 사례와 고객의 목소리를 바탕으로 소개합니다.
또한 반도체 제조에 있어서의 CVD(성막 방식)의 프로세스 데이터를 이용하여 JMP의 강력한 기능을 시연합니다. (18분 28초)
주제 1: 다수의 공정을 평가, 탐색하는 공정 능력 분석
JMP에서는 공정 변수에 사양 한계를 지정하여 공정 능력 분석을 할 수 있습니다만, 다수의 공정을 한 번에 검토, 비교할 수 있는 「공정의 스크리닝」의 기능을 소개합니다. (9분 59초)
주제 2 : 웨이퍼 맵 작성, 클러스터링에 의한 웨이퍼의 부적합 분류
그래프 빌더를 사용하여 웨이퍼 맵을 작성하여 부적합 수를 시각화합니다. 또한 클러스터 분석을 사용하여 부적합 패턴으로 웨이퍼를 여러 그룹으로 분류합니다. (10분 3초)
주제 3: 신뢰성 분석 ~제품 수명 예측~
JMP는 제품의 신뢰성을 분석하는 많은 기능을 갖추고 있습니다. 여기에서는, 자주 사용되는 「수명의 일변량」의 기능을 이용해, 수명 데이터에 다양한 분포를 맞추어, 최상의 모델의 선정, 좋은 모델을 이용한 고장 확률의 예측을 실시합니다. (7분 38초)
주제 4 : 실험 계획법 (DOE)의 개요와 반도체 제조 공정의 이용 예
실험 계획법의 개요를 설명하고, 플라즈마 애싱 공정에 있어서의 포토레지스트 제거량이나 제거량의 변동에 영향을 미치는 인자를 특정하기 위해 실험 계획법을 활용하는 예를 나타냅니다. (16분 2초)
주제 5 : 통계 모델 구축 및 특성 값에 영향을 미치는 요인 탐색
JMP 또는 JMP Pro를 사용하여 통계 모델을 작성하고 예측 프로파일을 사용하여 예측 및 요인 탐색을 수행하는 예를 보여줍니다. (11분 42초)
주제 6 : 워크 플로우로 분석 작업 자동화
JMP의 「워크플로 빌더」를 이용해, JMP의 조작을 기록해, 조작 내용을 재현하는 스크립트를 생성하는 방법을 소개합니다. (10분 9초)
참고 정보, 리소스
JMP 평가판
JMP의 모든 기능을 30일 동안 사용할 수 있습니다.
JMP 매뉴얼
JMP 매뉴얼(PDF)을 다운로드할 수 있습니다.
사용자 사례
반도체 업계를 비롯한 다양한 업계, 이용 용도에서의 JMP 이용 사례가 게재되어 있습니다.
제조업의 문제해결을 위한 통계적 사고(STIPS)
무료 온라인 통계 과정입니다. 제조업에서 이용하는 문제 해결의 생각, 거기에 관련된 통계 수법이나 JMP의 이용 방법을 학습할 수 있습니다.
제품, 도입에 관한 문의
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