Zur Herstellung eines einzelnen Halbleiters sind zahlreiche Einzelprozesse erforderlich.
Qualitativ hochwertige Halbleiter können nur erhalten werden, wenn jeder Prozess gut abläuft, und dies wird durch Messungen zwischen den Prozessen gesteuert. Eine konsistente Analyse ist jedoch schwierig, da sie je nach Ausrüstung und FAB in unterschiedlicher Form vorliegt.
Hier stellen wir einen Fall vor, in dem jeder mit JSL einfach, schnell und konsistent analysieren kann.
Es sagt die Verteilung von RESPONSE innerhalb von WAFER anhand begrenzter Daten voraus und liefert statistische Informationen.
Darüber hinaus werden interaktive Analyseergebnisse visuell dargestellt.
