级别：初级
【主持人】
应用材料
模块工艺工程师 黄毓琳
客户质量工程师 Wayne Chou
[演讲摘要]
该项目是通过随着时间的推移减少 PECVD 中产生的颗粒来提高 Cpk。颗粒问题导致产量损失和高生产成本。 (1) 使用 JMP Poisson & 拟合颗粒数据。 ZIP 分布。 (2) 将粒子数据与 JMP 目标图、绩效图和 SPC 控制图相结合。 (3) 将绩效与 Dunnett 方法相结合。 (4) 将泊松分布与目标图结合起来，修改下一阶段的行动计划。
该项目旨在减少 PECVD 随着时间的推移产生的颗粒并提高 Cpk。颗粒问题导致产量降低和制造成本升高。将整个制作时间分为三个阶段。 (1)用JMP泊松分布和ZIP分布拟合颗粒数据。 (2) 使用 JMP 目标图、性能图和 SPC 控制图组合粒子数据。 (3) 使用 Dunnett 方法比较性能。 (4)结合泊松分布和目标图修改下一阶段的行动计划。
[主讲人简介]
来自 Applied Materials Corp. 的 JMP 工艺模块工艺工程师，River 自 2015 年起担任 PECVD（等离子增强化学气相沉积）工程师 5 年，自 2021 年起担任模块工艺工程师 1 年，主要研究缺陷/可变性/。减少 COO 和流程 Cpk/匹配/输出优化；通过这些学习发现应用服务的机会或增加价值。
应用材料公司 JMP 工艺模块工艺工程师。我自 2015 年起担任 PECVD（等离子体增强化学气相沉积）工程师五年，自 2021 年起担任模块工艺工程师一年。我们的研究主题是减少缺陷、变异和 COO，以及优化流程 Cpk、匹配和输出。通过这些学习，我们专注于识别应用材料公司的服务和增加价值的机会。
