RESPONSE-Vorhersage und -Analyse durch WAFER mit JSL (2021-KR-30MP-1023)JIYUN KANG, SK Hynix
Zur Herstellung eines einzelnen Halbleiters sind zahlreiche Einzelprozesse erforderlich.
Um qualitativ hochwertige Halbleiter zu erhalten, muss jeder Prozess gut ablaufen. Dies wird durch Messungen zwischen den Prozessen erreicht. Eine konsistente Analyse ist jedoch schwierig, da sie je nach Ausrüstung und FAB in unterschiedlicher Form vorliegt.
Hier stellen wir einen Fall vor, in dem jeder mit JSL einfach, schnell und konsistent analysieren kann.
Es sagt die Verteilung von RESPONSE innerhalb von WAFER anhand begrenzter Daten voraus und liefert statistische Informationen.
Darüber hinaus werden interaktive Analyseergebnisse visuell dargestellt.
AusbrechenDatenvisualisierungJSL-Anwendungsentwicklung
