新增晶圓運行順序的半導體 CSV 文件你好
許多半導體設備都會為加工過程中記錄的資料產生 .csv 檔案:包含 1 到 X 片矽片的加工批次號,
該工具將在最多 X 片晶圓上重複運行相同的製程步驟。 CSV 檔案顯示重複處理的步驟,但沒有指派晶圓運作順序。因此,如果我們將多個 csv 檔案匯入到 JMP,然後希望列中的公式自動分配晶圓運行順序;晶圓運行順序並不總是相同數量的晶圓,會有所不同...
理想情況下,公式會很有用......所以我們在 CSV 檔案中有批號和流程步驟。
有人做過這個嗎...?
批次編號 晶圓運作訂單 流程步驟
基礎資料分析與建模回覆:新增晶圓運作順序的半導體 CSV 文件您能否提供一個小資料範例來看看可能存在什麼類型的重複(如果沒有,則簡單的 Col Rank( ) 可能就足夠了,或者 Col Cumulative Sum(1, )
回覆:新增晶圓運作順序的半導體 CSV 文件如果可以附上 Excel 文件的範例,這對於理解您的問題將非常有幫助。
回覆:新增晶圓運作順序的半導體 CSV 文件因此附加了一個文件,其中我手動添加了晶圓運行順序
回覆:新增晶圓運作順序的半導體 CSV 文件一種選擇可能是這樣的
Col Cumulative Sum(:Process Step == 1, :Batch Number)
但它確實做出了一些假設,例如您的資料始終按特定順序排列,並且當處理步驟更改為 1 時,新的運行順序開始。