添加晶圆运行顺序的半导体 CSV 文件你好
许多半导体设备都会生成 .csv 文件,用于记录加工过程中的数据:包含 1 到 X 个硅片的加工批号,
该工具将在最多 X 个晶圆上重复运行相同的工艺步骤。CSV 文件显示重复的处理步骤,但没有分配晶圆运行顺序。因此,如果我们将多个 csv 文件导入 JMP,则需要列中的一个公式来自动分配晶圆运行顺序;晶圆运行顺序并不总是与晶圆数量相同,而且会有所不同……
理想情况下,公式会很有用.....所以我们在 CSV 文件中有批号和流程步骤。
有人做过这个吗……?
批次号 晶圆运行顺序 流程步骤
基础数据分析与建模回复:半导体 CSV 文件添加晶圆运行顺序您能否提供一些数据示例来查看可能存在哪些类型的重复(如果没有,则简单的 Col Rank( )可能就足够了,或者 Col Cumulative Sum(1, )
回复:半导体 CSV 文件添加晶圆运行顺序如果可以附加 Excel 文件的样本,这将对理解您的问题非常有帮助。
回复:半导体 CSV 文件添加晶圆运行顺序因此,我手动添加了晶圆运行顺序文件
回复:半导体 CSV 文件添加晶圆运行顺序一个选择可能是这样的
Col Cumulative Sum(:Process Step == 1, :Batch Number)
但它确实做出了一些假设,例如您的数据始终按照特定的顺序排列,并且当过程步骤变为 1 时新的运行顺序开始。