웨이퍼 실행 순서를 추가하는 반도체 CSV 파일안녕
많은 반도체 장비는 처리 중에 기록된 데이터에 대한 .csv 파일을 생성합니다. 즉, 1~X개의 실리콘 웨이퍼를 포함하는 처리된 배치 번호,
이 도구는 최대 X개의 웨이퍼에서 동일한 프로세스 단계를 반복하여 실행합니다. CSV 파일에는 반복되는 처리 단계가 표시되지만 웨이퍼 실행 순서는 할당되지 않습니다. 따라서 JMP로 가져온 여러 개의 csv 파일이 있는 경우 열에 웨이퍼 실행 순서를 자동 할당하는 공식이 필요합니다. 웨이퍼 실행 순서는 항상 달라질 수 있는 웨이퍼 수와 동일하지는 않습니다.
이상적으로는 공식이 유용할 것입니다. 따라서 CSV 파일에 배치 번호와 프로세스 단계가 있습니다.
이거 해본 사람 있어...?
배치 번호 웨이퍼 실행 주문 프로세스 단계
기본 데이터 분석 및 모델링Re: 웨이퍼 실행 순서를 추가하는 반도체 CSV 파일어떤 유형의 반복이 있을 수 있는지 확인하기 위해 작은 데이터 예를 제공할 수 있습니까?(없는 경우 간단한 Col Rank( )이면 충분하거나 Col Cumulative Sum(1, )
Re: 웨이퍼 실행 순서를 추가하는 반도체 CSV 파일엑셀 파일 샘플을 첨부해 주시면 문제를 이해하는 데 큰 도움이 될 것입니다.
Re: 웨이퍼 실행 순서를 추가하는 반도체 CSV 파일그래서 수동으로 웨이퍼 실행 순서를 추가한 파일을 첨부했습니다.
Re: 웨이퍼 실행 순서를 추가하는 반도체 CSV 파일하나의 옵션은 다음과 같을 수 있습니다
Col Cumulative Sum(:Process Step == 1, :Batch Number)
그러나 데이터가 항상 특정 순서로 되어 있고 프로세스 단계가 1로 변경되면 새로운 실행 순서가 시작된다는 등 몇 가지 가정을 합니다.
