ウェーハ実行順序を追加する半導体CSVファイルこんにちは
多くの半導体装置は、処理中に記録されたデータ用の.csvファイルを生成します。処理されたバッチ番号には、1～X枚のシリコンウェーハが含まれます。
このツールは、最大 X 枚のウェーハに対して同じプロセス ステップを繰り返し実行します。CSV ファイルには、処理されたステップが繰り返されていることが示されていますが、ウェーハの実行順序の割り当ては表示されません。そのため、JMP にインポートされた複数の csv ファイルがある場合、列に数式を入力してウェーハの実行順序を自動的に割り当てる必要があります。ウェーハの実行順序は、常に同じ数のウェーハになるわけではなく、変化する可能性があります...
理想的には、数式が便利です。そのため、CSV ファイルにバッチ番号とプロセス ステップが含まれます。
誰かこれをやったことある人いますか...？
バッチ番号 ウェーハ 実行 注文 プロセス手順
基本的なデータ分析とモデリングRe: ウェーハ実行順序を追加する半導体 CSV ファイルどのようなタイプの複製が存在する可能性があるかを確認するための小さなデータの例を提供できますか（存在しない場合は、単純なCol Rank（ ) で十分かもしれませんし、Col Cumulative Sum(1, ）
Re: ウェーハ実行順序を追加する半導体 CSV ファイルExcel ファイルのサンプルを添付していただければ、問題を理解するのに非常に役立ちます。
Re: ウェーハ実行順序を追加する半導体 CSV ファイル手動でウェハー実行順序を追加したファイルを添付しました
Re: ウェーハ実行順序を追加する半導体 CSV ファイル一つの選択肢としては次のようなものがある
Col Cumulative Sum(:Process Step == 1, :Batch Number)
ただし、データは常に特定の順序になっていることや、プロセス ステップが 1 に変更されたときに新しい実行順序が開始されるなどのいくつかの前提が置かれています。
