Niveau: Anfänger
【Moderator】
Angewandte Materialien
Modulprozessingenieur, Huang Yu Lin
Kundenqualitätsingenieur Wayne Chou
[Zusammenfassung der Präsentation]
Ziel dieses Projekts ist es, den Cpk zu verbessern, indem die im PECVD erzeugten Partikel mit der Zeit reduziert werden. Das Partikelproblem führt zu Ausbeuteverlusten und hohen Produktionskosten. Die gesamte Produktionszeit ist in drei Phasen unterteilt. (1) Partikeldaten mit JMP Poisson & anpassen ZIP-Verteilung. (2) Kombinieren Sie Partikeldaten mit JMP-Zieldiagramm, Leistungsdiagramm und SPC-Kontrolldiagramm. (3) Vergleichen Sie die Leistung mit der Dunnett-Methode. (4) Kombinieren Sie Poisson-Verteilung mit Zieldiagramm, um den Aktionsplan für die nächsten Phasen zu ändern.
Dieses Projekt zielt darauf ab, die durch PECVD erzeugten Partikel im Laufe der Zeit zu reduzieren und den Cpk zu verbessern. Partikelprobleme führen zu geringeren Erträgen und höheren Herstellungskosten. Teilen Sie die gesamte Produktionszeit in drei Phasen auf. (1) Passen Sie Partikeldaten mit der JMP-Poisson-Verteilung und der ZIP-Verteilung an. (2) Kombinieren Sie Partikeldaten mithilfe von JMP-Zieldiagrammen, Leistungsdiagrammen und SPC-Kontrolldiagrammen. (3) Vergleichen Sie die Leistung mit der Dunnett-Methode. (4) Ändern Sie den Aktionsplan für die nächste Stufe, indem Sie die Poisson-Verteilung und das Zieldiagramm kombinieren.
[Präsentatorprofil]
Modulprozessingenieur von Applied Materials Corp., im JMP-Prozess. River war seit 2015 fünf Jahre lang PECVD-Ingenieur (Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition) und seit 2021 ein Jahr lang Modulprozessingenieur. Rivers Forschungsschwerpunkt liegt auf Defekten/Variabilität/ COO-Reduzierung und Prozess-Cpk/Matching/Output-Optimierung; Identifizieren Sie Chancen oder steigern Sie den Wert für Applied Service mit diesen Erkenntnissen.
Modulprozessingenieur für JMP-Prozess bei Applied Materials Corporation. Ich arbeite seit 2015 fünf Jahre lang als PECVD-Ingenieur (Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition) und seit 2021 ein Jahr lang als Modulprozessingenieur. Unsere Forschungsthemen sind die Reduzierung von Fehlern, Variationen und COO sowie die Optimierung von Prozess-Cpk, Matching und Output. Durch diese Erkenntnisse konzentrieren wir uns darauf, Möglichkeiten für die Dienstleistungen von Applied Materials zu identifizieren und den Wert zu steigern.
[Video]
