Niveau : Débutant
【Présentateur】
Matériaux appliqués
Ingénieur de processus de modules, Huang Yu Lin
Ingénieur qualité client, Wayne Chou
[Résumé de la présentation]
Ce projet vise à améliorer le Cpk en réduisant les particules générées dans le PECVD avec le temps. Le problème des particules entraîne une perte de rendement et un coût de production élevé. Le temps de production total est divisé en 3 étapes. (1) Ajuster les données de particules avec JMP Poisson & Distribution ZIP. (2) Combinez les données de particules avec le tracé d'objectifs JMP, le tracé de performances et le tableau de contrôle SPC. (3) Comparez les performances avec la méthode de Dunnett. (4) Combinez la distribution de Poisson avec le tracé d'objectifs pour modifier le plan d'action pour les étapes suivantes.
Ce projet vise à réduire les particules générées par le PECVD au fil du temps et à améliorer le Cpk. Les problèmes de particules entraînent une baisse des rendements et des coûts de fabrication plus élevés. Divisez tout le temps de production en trois étapes. (1) Ajustez les données de particules avec la distribution JMP Poisson et la distribution ZIP. (2) Combinez les données de particules à l'aide de tracés d'objectifs JMP, de tracés de performances et de cartes de contrôle SPC. (3) Comparez les performances en utilisant la méthode de Dunnett. (4) Modifiez le plan d'action pour l'étape suivante en combinant la distribution de Poisson et le graphique d'objectif.
[Profil du présentateur]
Ingénieur procédés module d'Applied Materials Corp., dans le procédé JMP. River était ingénieur PECVD (Plasma Enhance Chemical Vapor Deposition) depuis 2015 pendant 5 ans et ingénieur procédé module depuis 2021 pendant 1 an. Les recherches de River se concentrent sur les défauts/variabilité/ Réduction du COO et optimisation des processus Cpk/correspondance/sortie ; Identifier les opportunités ou augmenter les valeurs du service appliqué avec ces apprentissages.
Ingénieur processus module pour le processus JMP chez Applied Materials Corporation. J'ai travaillé en tant qu'ingénieur PECVD (Plasma Enhance Chemical Vapor Deposition) pendant 5 ans depuis 2015 et en tant qu'ingénieur procédés modules pendant 1 an depuis 2021. Nos thèmes de recherche sont la réduction des défauts, des variations et du COO, et l'optimisation du Cpk, de la correspondance et du rendement des processus. Grâce à ces apprentissages, nous nous concentrons sur l'identification des opportunités pour les services d'Applied Materials et l'augmentation de la valeur.
[vidéo]
