使用 JSL 進行半導體晶圓空間模式分類作者
Don Kent，IM Flash Technologies dkent資深產品工程師
在半導體大批量製造中，每週都有一些晶圓被歸類為低產量。這些晶圓通常具有獨特的空間特徵。同樣，許多提高產量的機會都與具有微妙空間特徵的晶圓有關。在這兩種情況下，空間模式都為改進流程提供了線索。對這些空間特徵進行審查和分類的努力通常會取得成果；然而，這些努力花費的時間最長，最容易被解釋。使用 JSL 創建了晶圓空間圖案分類腳本。空間統計和機器學習已與自適應聚類和晶圓視覺化應用中的高維度資料分析技術相結合。 JSL 解決方案利用 JMP 中的多個平台，包括 PCA 和聚類，並使用圖形生成器透過引用自訂晶圓圖檔案來視覺化生成的空間聚類。該插件部署在 IM Flash 網路上，允許工程師和技術人員根據晶圓的空間特徵快速將晶圓分為相似的群組。透過為資料探勘提供比手動評分方法更快、更準確的可靠指標，可以更快地確定根本原因。
數據視覺化JSL應用程式開發
