使用 JSL 进行半导体晶圆空间模式分类作者
Don Kent，IM Flash Technologies dkent高级产品工程师
在半导体大批量制造中，每周都有一些晶圆被归类为低产量。这些晶圆通常具有独特的空间特征。同样，许多提高产量的机会都与具有微妙空间特征的晶圆有关。在这两种情况下，空间模式都为改进流程提供了线索。对这些空间特征进行审查和分类的努力通常会取得成果；然而，这些努力花费的时间最长，而且最容易受到解释。使用 JSL 创建了晶圆空间图案分类脚本。空间统计和机器学习已与自适应聚类和晶圆可视化应用中的高维数据分析技术相结合。 JSL 解决方案利用 JMP 中的多个平台，包括 PCA 和聚类，并使用图形生成器通过引用自定义晶圆图文件来可视化生成的空间聚类。该插件部署在 IM Flash 网络上，允许工程师和技术人员根据晶圆的空间特征快速将晶圆分为相似的组。通过为数据挖掘提供比手动评分方法更快、更准确的可靠指标，可以更快地确定根本原因。
数据可视化JSL应用程序开发
