JSL을 사용한 반도체 웨이퍼 공간 패턴 분류<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />작가
Don Kent, IM Flash Technologies 수석 제품 엔지니어 dkent
반도체 대량 제조에서는 매주 일부 웨이퍼가 저수율로 분류된다. 종종 이러한 웨이퍼에는 뚜렷한 공간적 특성이 있습니다. 마찬가지로, 많은 수율 개선 기회는 미묘한 공간 특성을 지닌 웨이퍼와 연결되어 있습니다. 이 두 경우 모두 공간 패턴은 프로세스 개선에 대한 단서를 제공합니다. 이러한 공간적 특징을 검토하고 분류하려는 노력은 일반적으로 결실을 맺습니다. 그러나 이러한 노력은 가장 오랜 시간이 걸리고 해석의 여지가 가장 넓습니다. JSL을 사용하여 웨이퍼 공간 패턴 분류 스크립트가 생성되었습니다. 적응형 클러스터링 및 웨이퍼 시각화 애플리케이션에서 공간 통계 및 기계 학습이 고차원 데이터 분석 기술과 결합되었습니다. JSL 솔루션은 PCA, 클러스터링 등 JMP 내의 여러 플랫폼을 활용하고 그래프 빌더를 사용하여 사용자 정의 웨이퍼 맵 파일을 참조하여 결과 공간 클러스터를 시각화합니다. IM 플래시 네트워크에 배포된 이 추가 기능을 사용하면 엔지니어와 기술자는 공간 특성을 기반으로 웨이퍼를 유사한 그룹으로 신속하게 분류할 수 있습니다. 이를 통해 수동 점수 매기기 방법보다 더 빠르고 정확한 데이터 마이닝을 위한 신뢰할 수 있는 측정 기준을 제공함으로써 더 빠르게 근본 원인을 파악할 수 있습니다.
데이터 시각화JSL 애플리케이션 개발
