<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />Autore
Don Kent, Ingegnere di prodotto senior, IM Flash Technologies dkent
Nella produzione di semiconduttori in grandi volumi, ogni settimana alcuni wafer vengono classificati come a basso rendimento. Spesso questi wafer hanno firme spaziali distinte. Allo stesso modo, molte opportunità di miglioramento della resa sono legate a wafer con sottili firme spaziali. In entrambi i casi, i modelli spaziali offrono indizi per migliorare il processo. Gli sforzi per rivedere e classificare queste firme spaziali in genere danno i loro frutti; tuttavia, questi sforzi richiedono più tempo e sono più aperti all’interpretazione. Uno script di classificazione del modello spaziale dei wafer è stato creato utilizzando JSL. Le statistiche spaziali e l'apprendimento automatico sono stati combinati con tecniche di analisi dei dati ad alta dimensione in un'applicazione di clustering adattivo e visualizzazione di wafer. La soluzione JSL utilizza diverse piattaforme all'interno di JMP, tra cui PCA e Clustering, e utilizza il Graph Builder per visualizzare i cluster spaziali risultanti facendo riferimento a file di mappa wafer personalizzati. Questo componente aggiuntivo, distribuito su IM Flash Network, consente a ingegneri e tecnici di classificare rapidamente i wafer in gruppi simili in base alle loro firme spaziali. Ciò consente una determinazione più rapida della causa principale fornendo una metrica affidabile per il data mining che è più veloce e precisa rispetto ai metodi di punteggio manuale.
