使用设计空间分析器指定三组分混合物的控制范围和一种工艺因子 = 时间。
如下图所示,所有控制范围的传输工作正常,但是时间中点没有从设计空间分析器中接管? 对于混合物组分的中点进行转移,为什么不考虑过程时间的影响呢?
另外,Design Space Porfiler 的缺陷率(体积)比仿真后的缺陷率低很多(一个数量级)?